EN
Tavsif
Yarimo'tkazgich darajasidagi silitsiy karbid plastinkalar quti — bu yarimo'tkazgichlarning diffuziya jarayonlarida asosan foydalaniladigan yuqori samarali keramik mahsulot.
Koʻrsatkichlari
KCE® SiSiC/RBSiC Texnik ma'lumotlar varaqasi
| Texnik parametrlar | Бирлик | Qiymat |
| Kremniy karbid tarkibi | % | 85 |
| Bepul kremniy tarkibi | % | 15 |
| 20°C da zichlik zichligi | g/cm³ | ≥3.02 |
| Ochiq poroznost | Hajm % | 0 |
| Qattiqlik HK | kg/mm² | 2600 |
| Egurish kuchli 20°C | Mpa | 250 |
| Egurish kuchli 1200°C | Mpa | 280 |
| 20 – 1000°C (Isiqlik kengayish koeffitsiyenti) | 10–6 K–1 | 4.5 |
| Isiqlik o'tkazuvchanligi 1000°C | Vt/m.K | 45 |
| Statik 20°C (Elastiklik moduli) | GPa | 330 |
| Ish harorati | °C | 1300 |
| Maks. Ishchi harorat (havo) | °C | 1380 |
Qo'llanish sohaları
Silitsiy karbid (SiC) plastinkali kema — pech trubalari ichida plastinkalarni yuqori haroratda ishlash uchun yuklashda foydalaniladigan yuqori haroratga chidamli tarkibiy qismdir. Yuqori haroratga chidamliligi, kimyoviy korroziyaga chidamliligi va yaxshi issiqlik barqarorligi tufayli silitsiy karbid materiallari diffuziya, oksidlantirish, CVD, tavizlash kabi turli xil issiqlik ishlash jarayonlarida keng qo'llaniladi. Yarimo'tkazgich darajasidagi silitsiy karbid plastinkali kema — asosan yarimo'tkazgichlarning diffuzion jarayonlarida foydalaniladigan yuqori samarali keramik mahsulot bo'lib, yarimo'tkazgichlarni ishlab chiqarish jarayonining ajralmas qismidir.
Afzalliklar
An'anaviy kvarts plastinkalar idishlari bilan solishtirganda, yarimo'tkazgich darajasidagi silitsiy karbid kristallik idishlar chidamlilik, korroziyaga chidamlilik, yuqori harorat ta'siriga chidamlilik, plasma bombardimoniga chidamlilik, yuqori haroratda ishlash qobiliyati, yuqori issiqlik o'tkazuvchanlik, yuqori issiqlik tarqatish xususiyatlariga ega bo'lib, uzoq muddat foydalanish natijasida egilish va deformatsiyaga uchramaydi. Yuqori harorat sharoitida silitsiy karbid plastinkalar idishlari deformatsiyaga uchramaydi yoki sindirilmaydi, bu esa plastinkalarni ishlab chiqarishning barqarorligi va chiqarilish darajasini ta'minlaydi. Shuningdek, silitsiy karbid plastinkalar idishlarining foydalanish muddati uzunroq bo'lib, almashtirish chastotasini va texnik xizmat ko'rsatish xarajatlarini kamaytiradi, ya'ni yarimo'tkazgich korxonalari uchun katta iqtisodiy foyda keltiradi.
