EN
Popis
Loď na wafer z karbidu křemíku polovodičové třídy je vysokovýkonný keramický výrobek, který se primárně používá v difuzních procesech v polovodičích.
Specifikace
KCE® SiSiC/RBSiC Technický datový list
| Technické parametry | Jednotka | Hodnota |
| Obsah karbidu křemíku | % | 85 |
| Obsah volného křemíku | % | 15 |
| Objemová hmotnost 20°C | g/cm³ | ≥3.02 |
| Otevřená pórovitost | Vol % | 0 |
| Tvrdost HK | kg/mm² | 2600 |
| Pevnost v ohybu 20°C | MPa | 250 |
| Pevnost v ohybu 1200°C | MPa | 280 |
| 20 – 1000°C (součinitel tepelné roztažnosti) | 10–6 K–1 | 4.5 |
| Tepelná vodivost 1000°C | W/m.k | 45 |
| Statické 20°C (Modul pružnosti) | GPa | 330 |
| Pracovní teplota | °C | 1300 |
| Max. provozní teplota (vzduch) | °C | 1380 |
Použití
Lodička z karbidu křemíku (SiC) je komponenta odolná proti vysokým teplotám, používaná ve trubicích pecí k uložení waferů pro tepelné zpracování za vysokých teplot. Díky své vysoké tepelné odolnosti, odolnosti proti chemické korozí a dobré tepelné stabilitě jsou materiály z karbidu křemíku široce využívány v různých procesech tepelného zpracování, jako je difuze, oxidace, CVD, žíhání atd. Polovodičový typ lodičky z karbidu křemíku je vysokým výkonem vyrobený keramický produkt, primárně používaný v difuzních procesech při výrobě polovodičů, a je nepostradatelným nástrojem v procesu výroby polovodičů.
Výhody
Ve srovnání s tradičními křemennými články mají články z polovodičového karbidu křemíku vlastnosti jako odolnost proti opotřebení, odolnost proti korozi, odolnost proti tepelným rázům, odolnost vůči bombardování plazmatem, vysokou nosnou kapacitu za vysokých teplot, vysokou tepelnou vodivost, vysoké odvádění tepla a dlouhodobé použití bez snadného prohnutí a deformace. Za vysokých teplot se články z karbidu křemíku snadno neohýbají ani nerozbíjejí, čímž zajišťují stabilitu a výtěžnost výroby waferů. Kromě toho je životnost článků z karbidu křemíku delší, což snižuje frekvenci výměn a provozní náklady a přináší větší ekonomické výhody polovodičovým podnikům.
