EN
Penerangan
Perahu wafer silikon karbida gred semikonduktor adalah produk seramik prestasi tinggi yang digunakan terutamanya dalam proses resapan semikonduktor.
Spesifikasi
KCE® SiSiC/RBSiC Lembaran Data Teknikal
| Parameter Teknikal | Unit | Nilai |
| Kandungan Karbida Silikon | % | 85 |
| Kandungan Silikon Bebas | % | 15 |
| Ketumpatan Pukal 20°C | g/cm³ | ≥3.02 |
| Keliciran Terbuka | Vol % | 0 |
| Kekerasan HK | kg/mm² | 2600 |
| Kekuatan Lenturan 20°C | MPa | 250 |
| Kekuatan Lenturan 1200°C | MPa | 280 |
| 20 – 1000°C (Pekali Kembangan Terma) | 10–6 K–1 | 4.5 |
| Kekonduktifan Terma 1000°C | W/m.k | 45 |
| Statik 20°C (Modulus Kekenyalan) | GPa | 330 |
| Suhu Operasi | °C | 1300 |
| Suhu Perkhidmatan Maks. (udara) | °C | 1380 |
Aplikasi
Perahu wafer silikon karbida (SiC) adalah komponen tahan suhu tinggi yang digunakan dalam tiub relau untuk memuat wafer bagi rawatan suhu tinggi. Disebabkan oleh rintangan suhu tinggi, rintangan kakisan kimia, dan kestabilan haba yang baik, bahan silikon karbida digunakan secara meluas dalam pelbagai proses rawatan haba seperti resapan, pengoksidaan CVD, Penyamanan, dll. Perahu wafer silikon karbida gred semikonduktor adalah produk seramik prestasi tinggi yang terutamanya digunakan dalam proses resapan semikonduktor dan merupakan alat yang mustahak dalam proses pembuatan semikonduktor.
Kelebihan
Berbanding perahu wafer kuartz tradisional, perahu hablur silikon karbida gred semikonduktor mempunyai ciri-ciri seperti rintangan haus, rintangan kakisan, rintangan hentaman suhu tinggi, rintangan terhadap bombardmen plasma, keupayaan menanggung suhu tinggi, konduktiviti terma tinggi, pembuangan haba tinggi, serta penggunaan jangka panjang tanpa mudah bengkok atau berubah bentuk. Dalam keadaan suhu tinggi, perahu wafer silikon karbida tidak mudah berubah bentuk atau patah, memastikan kestabilan dan hasil pengeluaran wafer. Selain itu, jangka hayat perkhidmatan perahu wafer silikon karbida lebih panjang, mengurangkan kekerapan penggantian dan kos penyelenggaraan, membawa manfaat ekonomi yang lebih besar kepada syarikat semikonduktor.
