EN
تفصیل
سیمی کنڈکٹر گریڈ سلیکون کاربائیڈ ویفر بوٹ ایک اعلیٰ کارکردگی والی سرامک مصنوعات ہے جو بنیادی طور پر سیمی کنڈکٹر ڈفیوژن عمل میں استعمال ہوتی ہے۔
تفصیلات
کے سی ای سی® ایس آئی ایس آئی سی/آر بی ایس آئی سی تکنیکی ڈیٹا شیٹ
| تکنیکی پیرامیٹرز | یونٹ | قیمت |
| سیلیکون کاربائیڈ کا مواد | % | 85 |
| آزاد سلیکون کا مواد | % | 15 |
| 20°C پر بیچ فلکتی کثافت | g⁄cm³ | ≥3.02 |
| کھلی سُرجھن | حجم فیصد | 0 |
| سختی ایچ کے | کلوگرام/ملی میٹر² | 2600 |
| Flexural Strength 20°C | ایم پی اے | 250 |
| Flexural Strength 1200°C | ایم پی اے | 280 |
| 20 – 1000°C (Coefficient of Thermal Expansion) | 10–6 K–1 | 4.5 |
| Thermal Conductivity 1000°C | واٹ/میٹر۔کیلفن | 45 |
| سٹیٹک 20°C (کشیدگی کا ماڈولس) | GPa | 330 |
| کام کرنے کا درجہ حرارت | °C | 1300 |
| زیادہ سے زیادہ سروس درجہ حرارت (ہوا) | °C | 1380 |
استعمالات
سلیکون کاربائیڈ (SiC) ویفر بوٹ ایک اعلیٰ درجہ حرارت برداشت کرنے والی چیز ہے جو فرن کے ٹیوبز میں ویفرز کو اعلیٰ درجہ حرارت کے علاج کے لیے لوڈ کرنے کے لیے استعمال ہوتی ہے۔ اس کی اعلیٰ حرارتی برداشت، کیمیائی تیزابی حملے کی مزاحمت اور اچھی حرارتی استحکام کی وجہ سے، سلیکون کاربائیڈ مواد مختلف حرارتی علاج کے عمل جیسے کہ پھیلاؤ، آکسیکرن، CVD، اینیلنگ وغیرہ میں وسیع پیمانے پر استعمال ہوتا ہے۔ سیمی کنڈکٹر گریڈ سلیکون کاربائیڈ ویفر بوٹ ایک اعلیٰ کارکردگی والی سرامک مصنوعات ہے جو بنیادی طور پر سیمی کنڈکٹر پھیلاؤ کے عمل میں استعمال ہوتی ہے اور سیمی کنڈکٹر تیاری کے عمل میں ایک ناقابلِ گُریز اوزار ہے۔
فوائد
روایتی کوارٹز ویفر بوٹس کے مقابلے میں، سیمی کنڈکٹر گریڈ سلیکون کاربائیڈ کرسٹل بوٹس میں پہننے، کوروسن، اعلی درجہ حرارت کے اثر، پلازما بمباری، اعلی درجہ حرارت برداشت کرنے کی صلاحیت، اعلی تھرمل کنڈکٹیویٹی، اعلی حرارت کے اخراج، اور طویل مدتی استعمال کے باوجود آسانی سے موڑنا یا خراب ہونے کی صلاحیت نہ ہونے کی خصوصیات ہوتی ہیں۔ اعلی درجہ حرارت کی حالت میں، سلیکون کاربائیڈ ویفر بوٹس آسانی سے خراب یا ٹوٹتی نہیں ہیں، جو ویفر تیاری کی استحکام اور پیداوار کو یقینی بناتی ہیں۔ اس کے علاوہ، سلیکون کاربائیڈ ویفر بوٹس کی خدمت کی عمر زیادہ ہوتی ہے، جس سے تبدیلی کی فریکوئنسی اور مرمت کے اخراجات کم ہوتے ہیں، جو سیمی کنڈکٹر اداروں کے لیے زیادہ معاشی فوائد لاتا ہے۔
