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विवरण
अर्धचालक ग्रेड सिलिकॉन कार्बाइड वेफर बोट एक उच्च-प्रदर्शन चीनी मिट्टी का बरतन उत्पाद है जिसका उपयोग मुख्य रूप से अर्धचालक विसरण प्रक्रियाओं में किया जाता है।
विनिर्देश
केसीई® एसआईएसआईसी/आरबीएसआईसी तकनीकी डेटा शीट
| तकनीकी मापदंड | इकाई | मूल्य |
| सिलिकॉन कार्बाइड सामग्री | % | 85 |
| मुक्त सिलिकॉन सामग्री | % | 15 |
| 20 डिग्री सेल्सियस पर बल्क घनत्व | g/cm³ | ≥3.02 |
| खुली छिद्रता | आयतन % | 0 |
| कठोरता HK | किग्रा/वर्ग मिमी | 2600 |
| बंकन शक्ति 20°सेल्सियस | एमपीए | 250 |
| बंकन शक्ति 1200°सेल्सियस | एमपीए | 280 |
| 20 – 1000°सेल्सियस (ऊष्मीय प्रसार का गुणांक) | 10–6 K–1 | 4.5 |
| ऊष्मीय चालकता 1000°सेल्सियस | वाट/मी.केल्विन | 45 |
| स्थिर 20°C (लोच का प्रत्यास्थता मापांक) | जीपीए | 330 |
| कार्यशील तापमान | °C | 1300 |
| अधिकतम उपयोग तापमान (हवा में) | °C | 1380 |
अनुप्रयोग
सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) वेफर बोट एक उच्च-तापमान प्रतिरोधी घटक है जिसका उपयोग भट्ठी की ट्यूब में उच्च तापमान विधि के लिए वेफर लोड करने हेतु किया जाता है। अपने उच्च तापमान प्रतिरोध, रासायनिक संक्षारण प्रतिरोध और अच्छे तापीय स्थिरता के कारण, सिलिकॉन कार्बाइड सामग्री का उपयोग विसरण, ऑक्सीकरण CVD, एनीलिंग आदि विभिन्न ऊष्मा उपचार प्रक्रियाओं में व्यापक रूप से किया जाता है। अर्धचालक ग्रेड सिलिकॉन कार्बाइड वेफर बोट एक उच्च-प्रदर्शन सिरेमिक उत्पाद है जिसका उपयोग मुख्य रूप से अर्धचालक विसरण प्रक्रियाओं में किया जाता है तथा यह अर्धचालक निर्माण प्रक्रिया में एक अनिवार्य उपकरण है।
लाभ
पारंपरिक क्वार्ट्ज वेफर बोट्स की तुलना में, सेमीकंडक्टर ग्रेड सिलिकॉन कार्बाइड क्रिस्टल बोट्स में घर्षण प्रतिरोध, जंग प्रतिरोध, उच्च तापमान प्रभाव प्रतिरोध, प्लाज्मा बमबारी के लिए प्रतिरोध, उच्च तापमान सहन क्षमता, उच्च तापीय चालकता, उच्च ऊष्मा अपव्यय, और लंबे समय तक उपयोग करने पर आसानी से मुड़ने या विकृत होने के अभाव जैसी विशेषताएं होती हैं। उच्च तापमान की स्थिति में, सिलिकॉन कार्बाइड वेफर बोट्स आसानी से विकृत या टूटती नहीं हैं, जिससे वेफर निर्माण की स्थिरता और उपज सुनिश्चित होती है। इसके अतिरिक्त, सिलिकॉन कार्बाइड वेफर बोट्स का सेवा जीवन लंबा होता है, जिससे प्रतिस्थापन की आवृत्ति और रखरखाव लागत कम होती है, जो सेमीकंडक्टर उद्यमों के लिए अधिक आर्थिक लाभ लाता है।
