EN
Leírás
A félvezető minőségű szilíciumkarbid lemezhajó egy nagyteljesítményű kerámia termék, amelyet elsősorban félvezető diffúziós folyamatokban használnak.
Specifikációk
KCE® SiSiC/RBSiC Műszaki adatlap
| Műszaki paraméterek | Egység | Érték |
| Szilíciumkarbid tartalom | % | 85 |
| Szabad szilícium tartalom | % | 15 |
| Tömegsűrűség 20°C-on | g/cm³ | ≥3.02 |
| Nyitott porozitás | Vol % | 0 |
| Keménység HK | kg/mm² | 2600 |
| Hajlítószilárdság 20°C | MPA | 250 |
| Hajlítószilárdság 1200°C | MPA | 280 |
| 20 – 1000°C (Hőtágulási együttható) | 10–6 K–1 | 4.5 |
| Hővezető képesség 1000°C | W/m·K | 45 |
| Statikus 20°C (Rugalmassági modulus) | GPa | 330 |
| Működési hőmérséklet | °C | 1300 |
| Max. üzemeltetési hőmérséklet (levegőben) | °C | 1380 |
Alkalmazások
A szilíciumkarbid (SiC) lemezhajó magas hőmérsékleten is ellenálló alkatrész, amely kemencécsövekben használatos lemezek magas hőmérsékletű kezelésére. A szilíciumkarbid anyagok magas hőállósága, kémiai korrózióállósága és jó hőstabilitása miatt széles körben alkalmazzák különféle hőkezelési eljárásokban, mint például diffúzió, oxidáció CVD, lehűtés stb. A félvezetőipari minőségű szilíciumkarbid lemezhajó egy nagyteljesítményű kerámia termék, amelyet elsősorban félvezető diffúziós folyamatokban használnak, és nélkülözhetetlen eszköz a félvezetőgyártás során.
Előnyök
Hagyományos kvantumlemez-hordozókkal összehasonlítva a félvezető minőségű szilíciumkarbid kristályhordozók kopásállósággal, korrózióállósággal, magas hőmérsékletű ütésállósággal, plazmabombázással szembeni ellenállással, magas hőmérsékleten történő terhelhetőséggel, magas hővezetőképességgel, jó hőelvezetéssel és hosszú távú használat mellett könnyen elgörbülés- és deformálódásmentességgel rendelkeznek. Magas hőmérsékleti körülmények között a szilíciumkarbid lemezhordozók nem deformálódnak vagy törnek könnyen, így biztosítva a lemezgyártás stabilitását és kitermelését. Emellett a szilíciumkarbid lemezhordozók élettartama hosszabb, csökkentve a cserék gyakoriságát és a karbantartási költségeket, ami nagyobb gazdasági előnyt jelent a félvezető vállalatok számára.
