EN
Beskrivelse
Halvledergrad silisiumkarbid vaferskøyte er et høytytende keramisk produkt som hovedsakelig brukes i halvlederdiffrasjonsprosesser.
Spesifikasjoner
KCE® SiSiC/RBSiC Teknisk datablad
| Tekniske parametere | Enhet | Verdi |
| Silisiumkarbidinnhold | % | 85 |
| Fritt silisiuminnhold | % | 15 |
| Tetthet 20°C | g/cm³ | ≥3.02 |
| Åpen porøsitet | Vol % | 0 |
| Hardhet HK | kg/mm² | 2600 |
| Bøyestyrke 20°C | MPa | 250 |
| Bøyestyrke 1200°C | MPa | 280 |
| 20 – 1000°C (varmeutvidelseskoeffisient) | 10–6 K–1 | 4.5 |
| Termisk ledningsevne 1000°C | W/m.K | 45 |
| Statisk 20 °C (Elastisitetsmodul) | GPa | 330 |
| Arbeidstemperatur | °C | 1300 |
| Maks. driftstemperatur (luft) | °C | 1380 |
Applikasjoner
Silisiumkarbid (SiC) vafelbåt er en varmebestandig komponent som brukes i ovnrør for å laste vafler til høytemperaturbehandling. På grunn av sin høye temperaturmotstand, kjemiske korrosjonsmotstand og gode termiske stabilitet, brukes silisiumkarbidmaterialer mye i ulike varmebehandlingsprosesser som diffusjon, oksidasjon CVD, glødning osv. Halvledergrad silisiumkarbid vafelbåt er et keramisk produkt med høy ytelse som hovedsakelig brukes i halvlederdiffusjonsprosesser og er et uunnværlig verktøy i halvlederproduksjonsprosessen.
Fordeler
I sammenligning med tradisjonelle kvartsbåter har krystallbåter i halvledergrad silisiumkarbid egenskaper som slitestyrke, korrosjonsbestandighet, motstandskraft mot høytemperaturpåvirkning, motstand mot plasma-bombardement, høy temperaturbelastningskapasitet, høy varmeledningsevne, god varmeavføring og holder formen over lang tid uten å bøye eller forvrenge seg lett. Under høye temperaturforhold deformeres eller knuses silisiumkarbid-båter ikke lett, noe som sikrer stabilitet og utbytte i waferproduksjonen. I tillegg har silisiumkarbid-waferbåter en lengre levetid, noe som reduserer behovet for utskifting og vedlikeholdskostnader, og gir større økonomisk nytte for halvlederbedrifter.
