EN
Beskrivning
Bärgare av kiselkarbid i halvledarqualitet är en högpresterande keramisk produkt som främst används i halvledardiffusionsprocesser.
Specifikationer
KCE® SiSiC/RBSiC Teknisk datablad
| Tekniska parametrar | Enhet | Värde |
| Kväveinnehåll i kiselkarbid | % | 85 |
| Fritt silikontinnehåll | % | 15 |
| Skrymdensitet 20°C | g/cm3 | ≥3.02 |
| Öppen porositet | Vol % | 0 |
| Hårdhet HK | kg/mm² | 2600 |
| Brottgräns 20°C | Mpa | 250 |
| Brottgräns 1200°C | Mpa | 280 |
| 20 – 1000°C (värmexpansionskoefficient) | 10–6 K–1 | 4.5 |
| Värmekonduktivitet 1000°C | W/m.k | 45 |
| Statisk 20°C (Elasticitetsmodul) | GPA | 330 |
| Arbets temperatur | °C | 1300 |
| Max drifttemp (luft) | °C | 1380 |
Tillämpningar
Kiselskarbids (SiC) vikbåt är en högtemperaturbeständig komponent som används i ugnsrör för att lasta vikar till högtemperaturbehandling. På grund av sin höga temperaturbeständighet, kemiska korrosionsmotstånd och goda termiska stabilitet används kiselskarbidmaterial brett inom olika värmebehandlingsprocesser såsom diffusion, oxidation CVD, glödgning etc. Halvledargrad kiselskarbids vikbåt är en högpresterande keramisk produkt som huvudsakligen används i halvledardiffusionsprocesser och är ett oumbärligt verktyg i halvledartillverkningsprocessen.
Fördelar
Jämfört med traditionella kvartsvikbåtar har kiselkarbidkristallbåtar i halvledarqualitet egenskaper som slitstyrka, korrosionsbeständighet, motståndskraft mot hög temperaturpåverkan, motstånd mot plasmapåfrestning, hög bärförmåga vid höga temperaturer, hög värmeledningsförmåga, effektiv värmeavledning samt lång användningstid utan lätt böjning eller deformation. Under högtemperaturförhållanden deformeras eller går kiselkarbidvikbåtar sällan sönder, vilket säkerställer stabilitet och hög utbyte i tillverkningen av vikar. Dessutom är livslängden för kiselkarbidvikbåtar längre, vilket minskar frekvensen av utbyten och underhållskostnader, och därmed ger större ekonomiska fördelar för halvledarföretag.
