EN
Περιγραφή
Το σκάφος για υποστρώματα πυριτίου καρβιδίου βιομηχανικού βαθμού ημιαγωγών είναι ένα κεραμικό προϊόν υψηλής απόδοσης που χρησιμοποιείται κυρίως σε διεργασίες διάχυσης ημιαγωγών.
Ειδικές προδιαγραφές
KCE® SiSiC/RBSiC Τεχνικό φυλλάδιο
| Τεχνικές Παράμετροι | Μονάδα | Τιμή |
| Περιεκτικότητα σε Καρβίδιο του Πυριτίου | % | 85 |
| Περιεκτικότητα σε ελεύθερο πυρίτιο | % | 15 |
| Όγκος Βάρους 20°C | g/cm3 | ≥3.02 |
| Ανοιχτή πορώδης | Όγκος % | 0 |
| Σκληρότητα HK | kg/mm² | 2600 |
| Αντοχή σε Κάμψη 20°C | ΜPa | 250 |
| Αντοχή σε Κάμψη 1200°C | ΜPa | 280 |
| 20 – 1000°C (Συντελεστής Θερμικής Διαστολής) | 10–6 K–1 | 4.5 |
| Θερμική Αγωγιμότητα 1000°C | W/m.K | 45 |
| Στατικός 20°C (Μέτρο Ελαστικότητας) | ΓΔΠ | 330 |
| Θερμοκρασία εργασίας | °C | 1300 |
| Μέγιστη Θερμοκρασία Λειτουργίας (αέρας) | °C | 1380 |
Εφαρμογές
Το σκάφος πλέξης ανθρακοσιλικίου (SiC) είναι ένα ανθεκτικό σε υψηλές θερμοκρασίες εξάρτημα που χρησιμοποιείται σε σωλήνες φούρνων για τη φόρτωση πλακών με σκοπό την επεξεργασία σε υψηλή θερμοκρασία. Λόγω της ανθεκτικότητάς του σε υψηλές θερμοκρασίες, της αντοχής του σε χημική διάβρωση και της καλής θερμικής σταθερότητας, τα υλικά ανθρακοσιλικίου χρησιμοποιούνται ευρέως σε διάφορες διεργασίες θερμικής επεξεργασίας όπως διάχυση, οξείδωση CVD, ανόπτηση κ.λπ. Το σκάφος πλέξης ανθρακοσιλικίου βιομηχανικού τύπου για ημιαγωγούς είναι ένα κεραμικό προϊόν υψηλής απόδοσης που χρησιμοποιείται κυρίως σε διεργασίες διάχυσης ημιαγωγών και αποτελεί αναπόσπαστο εργαλείο στη διαδικασία παραγωγής ημιαγωγών.
Πλεονεκτήματα
Σε σύγκριση με τις παραδοσιακές βάρκες για υποστρώματα χαλαζία, οι βάρκες κρυστάλλων καρβιδίου του πυριτίου βιομηχανικής ημιαγωγών διαθέτουν χαρακτηριστικά όπως ανθεκτικότητα στη φθορά, στη διάβρωση, στη θερμική κρούση, στη βομβαρδισμό πλάσματος, υψηλή αντοχή σε υψηλές θερμοκρασίες, υψηλή θερμική αγωγιμότητα, αποτελεσματική απαγωγή θερμότητας και μακρά διάρκεια χρήσης χωρίς εύκολη κάμψη ή παραμόρφωση. Σε συνθήκες υψηλής θερμοκρασίας, οι βάρκες υποστρωμάτων καρβιδίου του πυριτίου δεν παραμορφώνονται ή σπάνε εύκολα, διασφαλίζοντας τη σταθερότητα και την απόδοση στην παραγωγή υποστρωμάτων. Επιπλέον, η διάρκεια ζωής των βαρκών υποστρωμάτων καρβιδίου του πυριτίου είναι μεγαλύτερη, μειώνοντας τη συχνότητα αντικατάστασης και το κόστος συντήρησης, προσφέροντας έτσι μεγαλύτερα οικονομικά οφέλη στις επιχειρήσεις ημιαγωγών.
