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Descripción
La embarcación para obleas de carburo de silicio de grado semiconductor es un producto cerámico de alto rendimiento utilizado principalmente en procesos de difusión de semiconductores.
Presupuesto
Ficha técnica KCE® SiSiC/RBSiC
| Parámetros técnicos | Unidad | Valor |
| Contenido de Carburo de Silicio | % | 85 |
| Contenido de Silicio libre | % | 15 |
| Densidad aparente a 20°C | g/cm³ | ≥3.02 |
| Porosidad Abierta | Vol % | 0 |
| Dureza HK | kg/mm² | 2600 |
| Resistencia a la flexión 20°C | Mpa | 250 |
| Resistencia a la flexión 1200°C | Mpa | 280 |
| 20 – 1000°C (Coeficiente de dilatación térmica) | 10–6 K–1 | 4.5 |
| Conductividad térmica 1000°C | W/m.k | 45 |
| Estático 20°C (Módulo de Elasticidad) | GPa | 330 |
| Temperatura de trabajo | °C | 1300 |
| Temp. máx. de servicio (en aire) | °C | 1380 |
Aplicaciones
La embarcación para obleas de carburo de silicio (SiC) es un componente resistente a altas temperaturas utilizado en tubos de horno para cargar obleas destinadas a tratamientos a alta temperatura. Debido a su alta resistencia térmica, resistencia a la corrosión química y buena estabilidad térmica, los materiales de carburo de silicio se utilizan ampliamente en diversos procesos de tratamiento térmico como difusión, oxidación CVD, recocido, etc. La embarcación para obleas de carburo de silicio de grado semiconductor es un producto cerámico de alto rendimiento, utilizado principalmente en procesos de difusión semiconductor y es una herramienta indispensable en el proceso de fabricación de semiconductores.
Ventajas
En comparación con los portadores tradicionales de cuarzo para obleas, los portadores de cristal de carburo de silicio de grado semiconductor presentan características como resistencia al desgaste, resistencia a la corrosión, resistencia al impacto térmico, resistencia al bombardeo de plasma, alta capacidad de soporte a temperaturas elevadas, alta conductividad térmica, alta disipación de calor y uso prolongado sin doblarse ni deformarse fácilmente. Bajo condiciones de alta temperatura, los portadores de carburo de silicio para obleas no se deforman ni rompen fácilmente, lo que garantiza la estabilidad y el rendimiento en la fabricación de obleas. Además, la vida útil de los portadores de carburo de silicio para obleas es más larga, reduciendo la frecuencia de reemplazo y los costos de mantenimiento, lo que aporta mayores beneficios económicos a las empresas del sector semiconductor.
