EN
Kuvaus
Puolijohdeasteen hiilisidislevykansi on suorituskykyinen keraaminen tuote, jota käytetään pääasiassa puolijohdelevyjen diffuusioprosesseissa.
Mitat
KCE® SiSiC/RBSiC -tekninen tietolehti
| Tekniset parametrit | Yksikkö | Arvo |
| Rikkihiilen osuus | % | 85 |
| Vapaan piin osuus | % | 15 |
| Tiheys 20 °C:ssa | g/cm³ | ≥3.02 |
| Avoin huokosuus | Vol % | 0 |
| Kovuus HK | kg/mm² | 2600 |
| Taivutuslujuus 20°C | MPa | 250 |
| Taivutuslujuus 1200°C | MPa | 280 |
| 20 – 1000°C (Lämpölaajenemiskerroin) | 10–6 K–1 | 4.5 |
| Lämmönjohtavuus 1000°C | W/m.k | 45 |
| Staattinen 20°C (kimmoisuusmoduuli) | GPa | 330 |
| Toimintalämpötila | °C | 1300 |
| Maks. käyttölämpötila (ilma) | °C | 1380 |
Sovellukset
Silikonikarbidipohjainen (SiC) kiekonvene on korkean lämpötilan kestävä komponentti, jota käytetään uuniputkissa kiekkojen kuormitukseen korkealämpötilakäsittelyä varten. Korkean lämpötilan kestävyytensä, kemiallisen korroosion kestävyytensä ja hyvän lämpövakauden vuoksi silikonikarbidimateriaaleja käytetään laajasti erilaisissa lämpökäsittelyprosesseissa, kuten diffuusiossa, hapettumisessa, CVD:ssä, alennuksessa jne. Puolijohdegradeen silikonikarbidikiekonvene on suorituskykyinen keraaminen tuote, jota käytetään pääasiassa puolijohde-diffuusioprosesseissa ja se on välttämätön työkalu puolijohdeteollisuuden valmistusprosessissa.
Edut
Vertauna perinteisiin kvartsilevyvenyihin, puolijohdeasteen piikarbidikristallivenyt eroavat kulutuskestävyydellä, korroosion kestävyydellä, korkean lämpötilan iskunkestävyydellä, plasman pommituksen kestävyydellä, korkean lämpötilan kantavuudella, korkealla lämmönjohtavuudella, tehokkaalla lämmönhajotuksella sekä pitkäaikaisella käytöllä ilman helposti taipumista tai vääntymistä. Korkeissa lämpötiloissa piikarbidilevyvenyt eivät helposti väänty tai murtu, mikä takaa levyjen valmistuksen vakautta ja tuottavuutta. Lisäksi piikarbidilevyvenyjen käyttöikä on pidempi, mikä vähentää vaihtofrekvenssiä ja huoltokustannuksia, tuoden suurempia taloudellisia etuja puolijohdeyrityksille.
