EN
Opis
Łódka do wafla z węglika krzemu o stopniu półprzewodnikowym to produkt ceramiczny o wysokiej wydajności, używany głównie w procesach dyfuzji półprzewodników.
Specyfikacje
Karta danych technicznych KCE® SiSiC/RBSiC
| Parametry techniczne | Jednostka | Wartość |
| Zawartość węglika krzemu | % | 85 |
| Zawartość wolnego krzemu | % | 15 |
| Gęstość objętościowa 20°C | g/cm3 | ≥3.02 |
| Otwarta porowatość | Vol % | 0 |
| Twardość HK | kg/mm² | 2600 |
| Wytrzymałość na zginanie 20°C | MPa | 250 |
| Wytrzymałość na zginanie 1200°C | MPa | 280 |
| 20 – 1000°C (Współczynnik rozszerzalności cieplnej) | 10–6 K–1 | 4.5 |
| Przewodność cieplna 1000°C | W/m·K | 45 |
| Statyczny 20°C (moduł sprężystości) | GPA | 330 |
| Temperatura pracy | °C | 1300 |
| Maks. temperatura pracy (powietrze) | °C | 1380 |
Zastosowania
Łódź krzemowa (SiC) do płytek jest elementem odpornym na wysokie temperatury, stosowanym w rurach piecowych do transportowania płytek podczas obróbki w wysokiej temperaturze. Ze względu na odporność na wysoką temperaturę, korozję chemiczną oraz dobrą stabilność termiczną, materiały z karbidu krzemu są szeroko stosowane w różnych procesach cieplnych, takich jak dyfuzja, utlenianie, CVD, wyżarzanie itp. Łódź półprzewodnikowa z karbidu krzemu to produkt ceramiczny o wysokiej wydajności, używany głównie w procesach dyfuzji półprzewodników i stanowi niezwykle ważное narzędzie w procesie produkcji półprzewodników.
Zalety
W porównaniu z tradycyjnymi łóżkami kwarcowymi, łódziki krystaliczne z węglika krzemu o gatunku półprzewodnikowym charakteryzują się odpornością na zużycie, korozję, udarność wysokotemperaturową, odpornością na bombardowanie plazmą, wysoką nośnością w temperaturach ekstremalnych, wysoką przewodnością cieplną, skutecznym odprowadzaniem ciepła oraz długotrwałą eksploatacją bez łatwego wyginania i odkształcania. W warunkach wysokich temperatur łódziki z węglika krzemu nie ulegają łatwo odkształceniom ani pęknięciom, co zapewnia stabilność i wydajność procesu produkcji waferów. Dodatkowo, żywotność łódzików z węglika krzemu jest dłuższa, co zmniejsza częstotliwość wymiany i koszty konserwacji, przynosząc większy efekt ekonomiczny przedsiębiorstwom półprzewodnikowym.
