EN
คำอธิบาย
เรือรองรับแผ่นเวเฟอร์คาร์ไบด์ซิลิคอนเกรดเซมิคอนดักเตอร์ เป็นผลิตภัณฑ์เซรามิกประสิทธิภาพสูงที่ใช้หลักในการแพร่กระจายเซมิคอนดักเตอร์
สเปก
แผ่นข้อมูลทางเทคนิค KCE® SiSiC/RBSiC
| ข้อมูลทางเทคนิค | หน่วย | ค่า |
| ปริมาณคาร์ไบด์ซิลิคอน | % | 85 |
| ปริมาณซิลิคอนอิสระ | % | 15 |
| ความหนาแน่นรวมที่ 20°C | g/cm³ | ≥3.02 |
| ความพรุนเปิด | ปริมาณร้อยละ | 0 |
| ความแข็ง HK | กิโลกรัม/มิลลิเมตร² | 2600 |
| ความแข็งแรงดัดที่ 20°C | เอ็มพีเอ | 250 |
| ความแข็งแรงดัดที่ 1200°C | เอ็มพีเอ | 280 |
| 20 – 1000°C (สัมประสิทธิ์การขยายตัวจากความร้อน) | 10–6 K–1 | 4.5 |
| การนำความร้อนที่ 1000°C | W/m.k | 45 |
| ค่าโมดูลัสยืดหยุ่นแบบสถิตที่ 20°C | GPa | 330 |
| อุณหภูมิในการทำงาน | °C | 1300 |
| อุณหภูมิสูงสุดในการใช้งาน (อากาศ) | °C | 1380 |
Applications
เรือบรรทุกแผ่นซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC) เป็นชิ้นส่วนที่ทนต่ออุณหภูมิสูง ใช้ในหลอดเตาเพื่อรองรับแผ่นเวเฟอร์สำหรับการแปรรูปที่อุณหภูมิสูง เนื่องจากวัสดุซิลิคอนคาร์ไบด์มีคุณสมบัติทนต่ออุณหภูมิสูง ทนต่อการกัดกร่อนทางเคมี และมีความเสถียรภาพทางความร้อนที่ดี จึงถูกนำมาใช้อย่างแพร่หลายในกระบวนการบำบัดความร้อนต่างๆ เช่น การแพร่กระจาย การออกซิเดชัน CVD การอบอ่อน (Annealing) เป็นต้น เรือบรรทุกเวเฟอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์เกรดเซมิคอนดักเตอร์เป็นผลิตภัณฑ์เซรามิกประสิทธิภาพสูง ใช้หลักในการกระบวนการแพร่กระจายของเซมิคอนดักเตอร์ และเป็นเครื่องมือที่จำเป็นอย่างยิ่งในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์
ข้อดี
เมื่อเทียบกับเรือควอตซ์สำหรับเวเฟอร์แบบดั้งเดิม แล้วเรือผลึกซิลิคอนคาร์ไบด์เกรดเซมิคอนดักเตอร์มีคุณสมบัติทนต่อการสึกหรอ ทนต่อการกัดกร่อน ทนต่อแรงกระแทกจากอุณหภูมิสูง ทนต่อการถูกโจมตีด้วยพลาสมา ทนต่ออุณหภูมิสูงได้ดี มีการนำความร้อนสูง ระบายความร้อนได้ดี และสามารถใช้งานระยะยาวโดยไม่เกิดการโค้งหรือเสียรูปได้ง่าย ภายใต้สภาวะอุณหภูมิสูง เรือซิลิคอนคาร์ไบด์สำหรับเวเฟอร์จะไม่เสียรูปหรือแตกหักง่าย ช่วยให้มั่นใจในความเสถียรและอัตราผลผลิตของการผลิตเวเฟอร์ นอกจากนี้ อายุการใช้งานของเรือซิลิคอนคาร์ไบด์สำหรับเวเฟอร์มีอายุยืนยาวขึ้น ลดความถี่ในการเปลี่ยนใหม่และค่าใช้จ่ายในการบำรุงรักษา ทำให้เกิดประโยชน์ทางเศรษฐกิจที่มากขึ้นแก่บริษัทผู้ผลิตเซมิคอนดักเตอร์
