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Descrição
A embarcação de carbeto de silício de grau semicondutor é um produto cerâmico de alto desempenho, usado principalmente em processos de difusão de semicondutores.
Especificações
Ficha técnica KCE® SiSiC/RBSiC
| Parâmetros Técnicos | Unidade | Valor |
| Teor de Carbeto de Silício | % | 85 |
| Teor de Silício Livre | % | 15 |
| Densidade aparente a 20°C | g/cm³ | ≥3.02 |
| Porosidade Aberta | Vol % | 0 |
| Dureza HK | kg/mm² | 2600 |
| Resistência à Flexão 20°C | Mpa | 250 |
| Resistência à Flexão 1200°C | Mpa | 280 |
| 20 – 1000°C (Coeficiente de Expansão Térmica) | 10–6 K–1 | 4.5 |
| Condutividade Térmica 1000°C | W/m.k | 45 |
| Estático 20°C (Módulo de Elasticidade) | GPa | 330 |
| Temperatura de Trabalho | °C | 1300 |
| Temp. Máx. de Serviço (ar) | °C | 1380 |
Aplicações
O barco de wafer de carbeto de silício (SiC) é um componente resistente a altas temperaturas usado em tubos de forno para carregar wafers destinados a tratamentos térmicos. Devido à sua alta resistência térmica, resistência à corrosão química e boa estabilidade térmica, os materiais de carbeto de silício são amplamente utilizados em diversos processos de tratamento térmico, como difusão, oxidação, CVD, recozimento, etc. O barco de wafer de carbeto de silício de grau semicondutor é um produto cerâmico de alto desempenho, utilizado principalmente em processos de difusão de semicondutores, sendo uma ferramenta indispensável no processo de fabricação de semicondutores.
Vantagens
Em comparação com os barcos tradicionais de quartzo para wafer, os barcos de cristal de carbeto de silício grau semicondutor possuem características como resistência ao desgaste, resistência à corrosão, resistência ao choque térmico, resistência ao bombardeio de plasma, alta capacidade de suporte em altas temperaturas, alta condutividade térmica, alta dissipação de calor e uso prolongado sem facilidade de dobrar ou deformar. Em condições de alta temperatura, os barcos de carbeto de silício para wafer não são facilmente deformados ou quebrados, garantindo a estabilidade e o rendimento na fabricação de wafers. Além disso, a vida útil dos barcos de carbeto de silício é mais longa, reduzindo a frequência de substituição e os custos de manutenção, trazendo maiores benefícios econômicos às empresas do setor semicondutor.
