EN
Aprašymas
Puslaidininkinio lygio silicio karbido plokštelių laikiklis yra aukštos kokybės keraminis gaminys, kuris daugiausia naudojamas puslaidininkiniuose difuzijos procesuose.
Specializacijos
KCE® SiSiC/RBSiC Techninės savybės
| Techniniai parametrai | VIENETAS | Vertė |
| Silicio karbido kiekis | % | 85 |
| Laisvo silicio kiekis | % | 15 |
| Bendras tankis 20°C | g/cm³ | ≥3.02 |
| Atvira poringė | Tūrio % | 0 |
| Kietumas HK | kg/mm² | 2600 |
| Lenkimo stipris 20°C | MPA | 250 |
| Lenkimo stipris 1200°C | MPA | 280 |
| 20 – 1000°C (Šiluminio plėtimosi koeficientas) | 10–6 K–1 | 4.5 |
| Šilumos laidumas 1000°C | Vat/m.k | 45 |
| Statinis 20°C (Elastiškumo modulis) | Gpa | 330 |
| Darbo temperatūra | °C | 1300 |
| Maks. darbo temperatūra (ore) | °C | 1380 |
Panaudojimo būdai
Silicio karbido (SiC) plokštelės valtis yra aukštos temperatūros atsparus komponentas, naudojamas krosnies vamzdžiuose plokštelėms užkrauti aukštos temperatūros apdorojimui. Dėl aukšto temperatūros atsparumo, cheminės korozijos atsparumo ir gerų šiluminių stabilumo savybių, silicio karbido medžiaga plačiai naudojama įvairiuose terminio apdorojimo procesuose, tokiuose kaip difuzija, oksidacija CVD, atkaitymas ir kt. Puslaidininkių klasės silicio karbido plokštelių valtis yra aukščiausios kokybės keraminis gaminys, daugiausia naudojamas puslaidininkių difuzijos procesuose ir yra nepakeičiamas įrankis puslaidininkių gamybos procese.
Privalumai
Palyginti su tradiciniais kvartciniais plokštelių laiveliais, puslaidininkių klasės silicio karbido kristaliniai laiveliai pasižymi atsparumu dilimui, korozijai, aukštos temperatūros smūgiams, atsparumu plazmos bombardavimui, aukštu temperatūriniu atsparumu, aukšta šilumos laidumo ir šilumos išsklaidymo savybėmis bei ilgalaikio naudojimo metu nesiraito ir nedeformuojasi. Aukštoje temperatūroje silicio karbido plokštelių laiveliai nesideformuoja ir nesulūžta, užtikrindami stabilią ir didelę lydų gamybą. Be to, silicio karbido plokštelių laivelių tarnavimo laikas yra ilgesnis, sumažinamas keitimo dažnumas ir techninės priežiūros išlaidos, kas suteikia didesnius ekonominius pranašumus puslaidininkių įmonėms.
