EN
Kirjeldus
Pooljuhtklassi räni karbiidi plaaditargad on kõrgete tehniliste näitajatega keraamilised tooted, mida kasutatakse peamiselt pooljuhtide difusiooniprotsessides.
Spetsifikatsioonid
KCE® SiSiC/RBSiC Tehniline andmekaart
| Tehnilised parameetrid | Ühik | Väärtus |
| Räni karbiidi sisaldus | % | 85 |
| Vaba räni sisaldus | % | 15 |
| Pakkumistihe 20°C | g/cm³ | ≥3.02 |
| Avatud poorseis | Vol % | 0 |
| Kõvadus HK | kg/mm² | 2600 |
| Plii tugevus 20°C | MPa | 250 |
| Plii tugevus 1200°C | MPa | 280 |
| 20 – 1000°C (soojalaienemise kordaja) | 10–6 K–1 | 4.5 |
| Soojusjuhtivus 1000°C | W/m.K | 45 |
| Staatiline 20°C (Elastsuse moodul) | GPa | 330 |
| Töötemperatuur | °C | 1300 |
| Max. töötemperatuur (õhu korral) | °C | 1380 |
Rakendused
Räni karbiidist (SiC) plaadikandja on kõrgetemperatuuriline komponent, mida kasutatakse põletitel plaatide kandmisel kõrgetemperatuurilisel töötlemisel. Tänu kõrgele temperatuurikindlusele, keemilisele korrosioonikindlusele ning heale soojuslikule stabiilsusele kasutatakse räni karbiidi materjale laialdaselt erinevates soojendusprotsessides, nagu difusioon, oksüdeerimine CVD, annameerimine jne. Pooljuhtide klassi räni karbiidist plaadikandja on kõrgtoimekivimaterjal, mida kasutatakse peamiselt pooljuhtide difusiooniprotsessides ning see on vajalik tööriist pooljuhtide valmistamise protsessis.
Eelised
Võrreldes traditsiooniliste kvartsist ketaste paatidega omavad pooljuhtlatesilikonkarbiidi kristallpaadid iseloomulikke kulumiskindluse, korrosioonikindluse, kõrge temperatuuri vastu pidavuse, plasma löögi vastu pidavuse, kõrge temperatuuri kandevõime, kõrge soojusjuhtivuse, hea soojusdissipatsiooni ning pikaajalise kasutamise korral lihtsa paindumise ja deformatsiooni vältimise omadusi. Kõrgete temperatuuride tingimustes ei deformeeru ega purune silikonkarbiidi ketaste paadid kergesti, tagades seega ketaste tootmise stabiilsuse ja saagise. Lisaks on silikonkarbiidi ketaste paatide kasutusiga pikem, vähendades asendusagedust ja hoolduskulusid, mis toob pooljuhtetootjatele suuremaid majanduslikke kasusid.
