EN
Opis
Plovba za plošče iz silicijevega karbida polprevodniške kakovosti je visoko zmogljiv keramični izdelek, ki se predvsem uporablja v difuzijskih procesih pri proizvodnji polprevodnikov.
Specificacije
KCE® SiSiC/RBSiC tehnični podatkovni list
| Tehnični parametri | Enota | Vrednost |
| Vsebina karbida silicija | % | 85 |
| Vsebina prostega silicija | % | 15 |
| Nasipna gostota pri 20 °C | g/cm³ | ≥3.02 |
| Odprta poroznost | Vol % | 0 |
| Trdota HK | kg/mm² | 2600 |
| Upogibna trdnost 20 °C | MPa | 250 |
| Upogibna trdnost 1200 °C | MPa | 280 |
| 20 – 1000 °C (koeficient toplotnega razširjanja) | 10–6 K–1 | 4.5 |
| Toplotna prevodnost 1000 °C | W/m·K | 45 |
| Statično 20°C (Modul elastičnosti) | GPa | 330 |
| Delovna temperatura | °C | 1300 |
| Najvišja delovna temp. (zrak) | °C | 1380 |
Uporaba
Ladijski nosilec ploščic iz silicijevega karbida (SiC) je komponenta, odporna na visoke temperature, ki se uporablja v ceveh peči za prevoz ploščic pri obdelavi pri visoki temperaturi. Zaradi odpornosti na visoke temperature, kemijsko korozijo ter dobre toplotne stabilnosti se materiali iz silicijevega karbida pogosto uporabljajo v različnih postopkih toplotne obdelave, kot so difuzija, oksidacija CVD, žarjenje itd. Ladijski nosilec ploščic iz polprevodniškega silicijevega karbida je visoko zmogljiv keramični izdelek, ki se predvsem uporablja v difuzijskih procesih pri izdelavi polprevodnikov ter je nepogrešljivo orodje v proizvodnem procesu polprevodnikov.
Prednosti
V primerjavi s tradicionalnimi kvartnimi čolni za ploščke imajo čolni iz silicijevega karbida polprevodniške kakovosti lastnosti, kot so odpornost proti obrabi, koroziji, udaru visoke temperature, bombardiranju z plazmo, visoka nosilna sposobnost pri visoki temperaturi, visoka toplotna prevodnost, učinkovito odvajanje toplote ter dolgotrajna uporaba brez lažjega upogibanja in deformacij. Pri visokih temperaturah se čolni iz silicijevega karbida za ploščke ne deformirajo ali lomijo, kar zagotavlja stabilnost in donos pri izdelavi ploščkov. Poleg tega je življenjska doba čolnov iz silicijevega karbida daljša, kar zmanjšuje pogostost menjave in stroške vzdrževanja ter prinaša večje gospodarske koristi podjetjem v industriji polprevodnikov.
