EN
Descriere
Barca de waferi din carbura de siliciu de calitate semiconductor este un produs ceramic de înaltă performanță, utilizat în principal în procesele de difuzie semiconductor.
Specificații
Fișă Tehnică KCE® SiSiC/RBSiC
| Parametrii tehnici | Unitate | Valoare |
| Conținut de Carburi de Siliciu | % | 85 |
| Conținut de Siliciu liber | % | 15 |
| Densitate aparentă la 20°C | g/cm3 | ≥3.02 |
| Porozitate deschisă | Vol % | 0 |
| Duritate HK | kg/mm² | 2600 |
| Rezistență la încovoiere 20°C | MPa | 250 |
| Rezistență la încovoiere 1200°C | MPa | 280 |
| 20 – 1000°C (Coeficientul de dilatare termică) | 10–6 K–1 | 4.5 |
| Conductivitate termică 1000°C | W/m.k | 45 |
| Static 20°C (Modul de Elasticitate) | GPA | 330 |
| Temperatură de funcționare | °C | 1300 |
| Temp. maximă de utilizare (aer) | °C | 1380 |
Aplicații
Barca pentru plăci de carbura de siliciu (SiC) este un component rezistent la temperaturi înalte, utilizat în tuburi de cuptor pentru a încărca plăcile destinate tratamentului la temperatură ridicată. Datorită rezistenței ridicate la temperatură, rezistenței la coroziunea chimică și stabilității termice bune, materialele din carbura de siliciu sunt utilizate pe scară largă în diverse procese de tratament termic, cum ar fi difuzia, oxidarea, CVD, recoacerea etc. Barca pentru plăci de carbura de siliciu de calitate semiconductor este un produs ceramic de înaltă performanță, utilizată în principal în procesele de difuzie a semiconductorilor și reprezintă un instrument indispensabil în procesul de fabricare a semiconductorilor.
Avantaje
În comparație cu bărcile tradiționale din cuarț, bărcile pentru cristale din carbura de siliciu de calitate semiconductor au caracteristici precum rezistența la uzură, rezistența la coroziune, rezistența la șocuri termice, rezistența la bombardamentul cu plasmă, capacitatea de rulare la temperaturi ridicate, conductivitate termică ridicată, disipare eficientă a căldurii și utilizarea pe termen lung fără a se îndoi sau deforma ușor. În condiții de temperatură înaltă, bărcile din carbura de siliciu pentru waferi nu se deformează sau sparg ușor, asigurând stabilitatea și randamentul procesului de fabricare a waferilor. În plus, durata de viață a bărcilor din carbura de siliciu pentru waferi este mai lungă, ceea ce reduce frecvența înlocuirilor și costurile de întreținere, aducând beneficii economice majore companiilor din industria semiconductorilor.
