EN
বর্ণনা
অর্ধপরিবাহী গ্রেড সিলিকন কার্বাইড ওয়েফার বোট হল একটি উচ্চ-কার্যকারিতা সিরামিক পণ্য, যা মূলত অর্ধপরিবাহী বিস্তার প্রক্রিয়াগুলিতে ব্যবহৃত হয়।
স্পেসিফিকেশন
KCE® SiSiC/RBSiC প্রযুক্তিগত তথ্য শীট
| টেকনিক্যাল প্যারামিটার | ইউনিট | মান |
| সিলিকন কার্বাইড সামগ্রী | % | 85 |
| মুক্ত সিলিকন সামগ্রী | % | 15 |
| বাল্ক ঘনত্ব 20°C | g/cm³ | ≥3.02 |
| খোলা ছিদ্রযুক্ততা | আয়তন % | 0 |
| কঠোরতা HK | কেজি/মিমি² | 2600 |
| ফ্লেক্সুরাল শক্তি 20°C | এমপিএ | 250 |
| ফ্লেক্সুরাল শক্তি 1200°C | এমপিএ | 280 |
| 20 – 1000°C (তাপীয় প্রসারণের সহগ) | 10–6 K–1 | 4.5 |
| তাপ পরিবাহিতা 1000°C | ওয়াট/মি.কে | 45 |
| স্ট্যাটিক 20°C (ইলাস্টিসিটির মডুলাস) | GPa | 330 |
| কাজের তাপমাত্রা | °C | 1300 |
| সর্বোচ্চ পরিষেবা তাপমাত্রা (বাতাস) | °C | 1380 |
অ্যাপ্লিকেশন
সিলিকন কার্বাইড (SiC) ওয়েফার বোট হল একটি উচ্চ-তাপমাত্রা প্রতিরোধী উপাদান যা চুলার নলে উচ্চ তাপমাত্রায় চিকিত্সার জন্য ওয়েফারগুলি লোড করতে ব্যবহৃত হয়। উচ্চ তাপমাত্রা প্রতিরোধ, রাসায়নিক ক্ষয় প্রতিরোধ এবং ভালো তাপীয় স্থিতিশীলতার কারণে, সিলিকন কার্বাইড উপকরণগুলি বিস্তার, জারণ CVD, অ্যানিলিং ইত্যাদি বিভিন্ন তাপ চিকিত্সা প্রক্রিয়ায় ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়। অর্ধপরিবাহী গ্রেডের সিলিকন কার্বাইড ওয়েফার বোট হল একটি উচ্চ কার্যকারিতা সম্পন্ন সিরামিক পণ্য যা মূলত অর্ধপরিবাহী বিস্তার প্রক্রিয়ায় ব্যবহৃত হয় এবং অর্ধপরিবাহী উৎপাদন প্রক্রিয়ায় একটি অপরিহার্য সরঞ্জাম।
সুবিধা
প্রচলিত কোয়ার্টজ ওয়েফার বোটগুলির সাথে তুলনা করলে, অর্ধপরিবাহী গ্রেড সিলিকন কার্বাইড ক্রিস্টাল বোটগুলি ক্ষয় প্রতিরোধ, দ্রবণ প্রতিরোধ, উচ্চ তাপমাত্রা আঘাত প্রতিরোধ, প্লাজমা আঘাত প্রতিরোধ, উচ্চ তাপমাত্রা সহনশীলতা, উচ্চ তাপ পরিবাহিতা, উচ্চ তাপ বিকিরণ, এবং দীর্ঘ সময় ধরে ব্যবহারের পরেও সহজে বাঁকা বা বিকৃত না হওয়ার মতো বৈশিষ্ট্য নিয়ে আসে। উচ্চ তাপমাত্রার শর্তাবলীতে, সিলিকন কার্বাইড ওয়েফার বোটগুলি সহজে বিকৃত বা ভাঙে না, যা ওয়েফার উৎপাদনের স্থিতিশীলতা এবং উৎপাদন হার নিশ্চিত করে। এছাড়াও, সিলিকন কার্বাইড ওয়েফার বোটগুলির আয়ুষ্কাল দীর্ঘ, যা প্রতিস্থাপনের ঘনত্ব এবং রক্ষণাবেক্ষণ খরচ কমায় এবং অর্ধপরিবাহী প্রতিষ্ঠানগুলিকে বড় অর্থনৈতিক সুবিধা দেয়।
