EN
Paglalarawan
Ang semiconductor grade silicon carbide wafer boat ay isang high-performance ceramic product na pangunahing ginagamit sa mga proseso ng semiconductor diffusion.
Mga Spesipikasyon
KCE® SiSiC/RBSiC Technical Data Sheet
| Mga teknikal na parameter | Yunit | Halaga |
| Nilalaman ng Silicon Carbide | % | 85 |
| Nilalaman ng Libreng Silicon | % | 15 |
| Densidad ng Bulk 20°C | g/cm³ | ≥3.02 |
| Buksan ang Porosity | Bolyum % | 0 |
| Hardness HK | kg/mm² | 2600 |
| Lakas ng Pagbaluktot 20°C | MPa | 250 |
| Lakas sa Pagkabali 1200°C | MPa | 280 |
| 20 – 1000°C (Koepisyente ng Thermal Expansion) | 10–6 K–1 | 4.5 |
| Thermal Conductivity 1000°C | W/m.k | 45 |
| Static 20°C (Modulus of Elasticity) | GPa | 330 |
| Temperatura ng trabaho | °C | 1300 |
| Max. Temperatura ng Paggamit (hangin) | °C | 1380 |
Mga Aplikasyon
Ang silicon carbide (SiC) wafer boat ay isang komponent na may mataas na paglaban sa temperatura na ginagamit sa mga tubo ng kalan upang ilagay ang mga wafer para sa mataas na temperatura na proseso. Dahil sa mataas na paglaban nito sa temperatura, paglaban sa kemikal na corrosion, at mabuting thermal stability, ang mga materyales na silicon carbide ay malawakang ginagamit sa iba't ibang proseso ng heat treatment tulad ng diffusion, oxidation CVD, annealing, at iba pa. Ang semiconductor grade na silicon carbide wafer boat ay isang high-performance na keramikong produkto na pangunahing ginagamit sa mga proseso ng semiconductor diffusion at ito ay isang mahalagang kasangkapan sa proseso ng paggawa ng semiconductor.
Mga Bentahe
Kumpara sa tradisyonal na quartz wafer boats, ang semiconductor grade silicon carbide crystal boats ay may mga katangian tulad ng paglaban sa pagsusuot, paglaban sa korosyon, paglaban sa mataas na temperatura, pagtitiis sa plasma bombardment, mataas na kakayahan sa pagdadala ng init, mataas na thermal conductivity, mahusay na pag-alis ng init, at pangmatagalang paggamit nang walang madaling pagbaluktot o deformasyon. Sa ilalim ng mataas na kondisyon ng temperatura, ang silicon carbide wafer boats ay hindi madaling mag-deform o masira, na nagagarantiya sa katatagan at nangyayari sa pagmamanupaktura ng wafer. Bukod dito, mas mahaba ang haba ng buhay ng serbisyo ng silicon carbide wafer boats, na binabawasan ang dalas ng pagpapalit at mga gastos sa pagpapanatili, na nagdudulot ng mas malaking ekonomikong benepisyo sa mga semiconductor enterprise.
