EN
Сипаттама
Жартылай өткізгіштік дәрежедегі кремний карбид пластинкаларының қайығы — негізінен жартылай өткізгіштік диффузиялық процестерде қолданылатын жоғары өнімді керамикалық өнім.
Сәйкестіктер
KCE® SiSiC/RBSiC техникалық деректер парағы
| Техникалық параметрлер | Бірлік | Мәні |
| Кремний карбидінің мөлшері | % | 85 |
| Бос кремний мөлшері | % | 15 |
| Көлемдік тығыздық 20°C | г/см³ | ≥3.02 |
| Ашық құрғақтық | Көлем % | 0 |
| Қаттылық HK | кг/мм² | 2600 |
| Иілу беріктігі 20°C | Мпа | 250 |
| Иілу беріктігі 1200°C | Мпа | 280 |
| 20 – 1000°C (Жылу кеңею коэффициенті) | 10–6 K–1 | 4.5 |
| Жылу өткізгіштік 1000°C | Вт/м·К | 45 |
| Статикалық 20°C (Созылу модулі) | ГПа | 330 |
| Жұмыс температурасы | °C | 1300 |
| Макс. пайдалану темп. (ауа) | °C | 1380 |
Қолданбалар
Кремний карбидінен (SiC) жасалған пластиналар қайықшасы — пластиналарды жоғары температурада өңдеу үшін пештің түтіктеріне орнатылатын, жоғары температураға төзімді бөлшек. Кремний карбидінің жоғары температураға төзімділігі, химиялық коррозияға төзімділігі мен жақсы жылулық тұрақтылығы салдарынан оны диффузия, тотығу, CVD, тұтасу сияқты әртүрлі жылу өңдеу процестерінде кеңінен қолданады. Жартылай өткізгіш сортты кремний карбидінен жасалған пластиналар қайықшасы — негізінен жартылай өткізгіштерді диффузиялау процесінде қолданылатын жоғары өнімді керамикалық өнім болып табылады және жартылай өткізгіштерді шығару процесінде міндетті құрал болып саналады.
Артықшылықтар
Дәстүрлі кварцтық пластиналарға қарағанда жартылай өткізгіш сатысындағы кремний карбид кристалды ыдыстар тозуға төзімді, коррозияға төзімді, жоғары температураға төзімді, плазма соққысына төзімді, жоғары температурада пайдалануға, жоғары жылу өткізгіштікке, жоғары жылу шашыратуға ие болып, ұзақ уақыт пайдаланғаннан кейін оңай бүгіліп немесе деформацияланбайды. Жоғары температура жағдайында кремний карбид пластинкалары оңай деформацияланбай немесе сынбайды, бұл пластинкаларды өндіру кезінде тұрақтылық пен шығымды қамтамасыз етеді. Сонымен қатар, кремний карбид пластинка ыдыстарының қызмет көрсету мерзімі ұзын, алмастыру жиілігі мен жөндеу құнын төмендетеді және жартылай өткізгіш кәсіпорындарына көбірек экономикалық пайда әкеледі.
