EN
תֵאוּר
סירת לווחות קרبيد סיליקון בדרגת שבב חצי מוליך היא מוצר keramika בעל ביצועים גבוהים, המשמש בעיקר בתהליכי דיפוזיה של שבבים חצי מוליכים.
תכונות
דוח טכני של KCE® SiSiC/RBSiC
| פרמטרים טכניים | יחידה | ערך |
| תכולת סיליקון קרביד | % | 85 |
| תכולת סיליקון חופשי | % | 15 |
| צפיפות נפחית 20°C | g/cm³ | ≥3.02 |
| ספיגות פתוחה | נפח % | 0 |
| קשיות HK | גרם/מ"מ² | 2600 |
| прочות כפיפה 20 מעלות צלזיוס | מגה פסקל | 250 |
| Прочות כפיפה 1200 מעלות צלזיוס | מגה פסקל | 280 |
| 20 – 1000 מעלות צלזיוס (מקדם ההתפשטות התרמית) | 10–6 K–1 | 4.5 |
| מוליכות תרמית 1000 מעלות צלזיוס | W/מ"ק | 45 |
| סטטי 20°C (מודולוס האלסטיות) | GPa | 330 |
| טמפרטורת עבודה | °C | 1300 |
| טמפרטורת עבודה מקסימלית (אוויר) | °C | 1380 |
יישומים
ספינת סיליקון קרביד (SiC) היא רכיב עמיד בטמפרטורה גבוהה המשמש בתוך צינורות תנור לצורך טעינת שבבים לטיפול בטמפרטורה גבוהה. בזכות עמידותה בטמפרטורות גבוהות, בעייתת כימית ויציבות תרמית טובה, חומרי הסיליקון קרביד משמשים בצורה נרחבת בתהליכי טיפול תרמי שונים כגון דיפוזיה, חמצון, CVD, נעילה וכו'. ספינת שיבוט סיליקון קרביד (SiC) עבור תעשיית השבבים היא מוצר keramika ביצועים גבוהים, המשמש בעיקר בתהליכי דיפוזיה של שבבים, ובהכרח כלים בתהליך ייצור השבבים.
יתרונות
בנוגע לסירות קוורץ מסורתיות, לסירות קריסטל סיליקון קרביד בדרגת חצי מוליך ישנן תכונות של עמידות בשחיקה, עמידות בתזוזת כימיקלים, עמידות בפני מכה בטמפרטורה גבוהה, עמידות בפני פיצוץ פלזמה, יכולת שיא נושאת טמפרטורה גבוהה, מוליכות תרמית גבוהה, פיזור חום גבוה, ושימוש ארוך טווח ללא עיוות או הטייה קלה. בתנאי טמפרטורה גבוהה, סירות סיליקון קרביד אינן מתעוותים או נשברים בקלות, מה שמבטיח יציבות ותשואה בייצור וויפרים. בנוסף, אורך החיים של סירות סיליקון קרביד הוא ארוך יותר, מה שמצמצם את תדירות ההחלפה ואת עלות התפעול, ומביא יתרונות כלכליים גדולים יותר לחברות חצי מוליכים.
