EN
Beskrivelse
Halvlederkvalitet siliciumcarbid vaflebåd er et højtydende keramisk produkt, der primært anvendes i halvlederdiffusionsprocesser.
Specifikationer
KCE® SiSiC/RBSiC Tekniske datablad
| Tekniske parametre | Enhed | Værdi |
| Indhold af siliciumcarbid | % | 85 |
| Indhold af fri silicium | % | 15 |
| Massefylde 20°C | g/cm3 | ≥3.02 |
| Åben Porøsitet | Vol % | 0 |
| Hårdhed HK | kg/mm² | 2600 |
| Bøjestyrke 20°C | MPa | 250 |
| Bøjestyrke 1200°C | MPa | 280 |
| 20 – 1000°C (Varmeutvidelseskoefficient) | 10–6 K–1 | 4.5 |
| Varmeledningsevne 1000°C | W/m.k | 45 |
| Statisk 20°C (Elasticitetsmodul) | GPA | 330 |
| Arbejdstemperatur | °C | 1300 |
| Max. brugstemperatur (luft) | °C | 1380 |
Anvendelser
En siliciumcarbid (SiC) vaflebåd er en varmebestandig komponent, der anvendes i ovnrør til at transportere vafle under højtemperaturbehandling. På grund af sit høje modstandsevne over for høje temperaturer, kemisk korrosion og god termisk stabilitet anvendes siliciumcarbidmaterialer bredt i forskellige varmebehandlingsprocesser såsom diffusion, oxidation CVD, glødning osv. Halvledergrad siliciumcarbid vaflebåd er et højtydende keramisk produkt, der primært anvendes i halvlederdiffusionsprocesser, og er et uundværligt værktøj i halvlederfremstillingsprocessen.
Fordele
I forhold til traditionelle kvarts vandskålsbåde har halvledergradige siliciumcarbidkrystalbåde egenskaber som slidstyrke, korrosionsbestandighed, modstandsdygtighed over for høj temperaturpåvirkning, modstandsdygtighed over for plasma-bombardement, evne til at bære høje temperaturer, høj termisk ledningsevne, effektiv varmeafledning samt lang tids brug uden nem deformation eller bukning. Under høje temperaturforhold deformeres eller knækker siliciumcarbid-vandskålsbåde ikke let, hvilket sikrer stabilitet og udbytte i vandskålproduktionen. Desuden er levetiden for siliciumcarbid-vandskålsbåde længere, hvilket reducerer udskiftningsfrekvensen og vedligeholdelsesomkostningerne og derved skaber større økonomisk gevinst for halvledervirksomheder.
