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설명
반도체 등급 실리콘 카바이드 웨이퍼 보트는 주로 반도체 확산 공정에서 사용되는 고효능 세라믹 제품입니다.
제품 사양
KCE® SiSiC/RBSiC 기술 데이터 시트
| 기술 파라미터 | UNIT | 값 |
| 탄화규소 함량 | % | 85 |
| 자유 규소 함량 | % | 15 |
| 20°C 체적 밀도 | g/cm³ | ≥3.02 |
| 개기공률 | 부피 % | 0 |
| 경도 HK | kg/mm² | 2600 |
| 휨강도 20°C | Mpa | 250 |
| 휨강도 1200°C | Mpa | 280 |
| 20 – 1000°C (열팽창 계수) | 10–6 K–1 | 4.5 |
| 열전도도 1000°C | W/m.k | 45 |
| 정적 20°C (탄성 계수) | GPa | 330 |
| 작동 온도 | °C | 1300 |
| 최대 사용 온도(공기 중) | °C | 1380 |
응용 분야
실리콘 카바이드(SiC) 웨이퍼 보트는 고온 처리를 위해 웨이퍼를 로딩하는 데 사용되는 내열성 부품으로, 주로 퍼니스 튜브에서 사용된다. 높은 내열성, 화학적 부식 저항성 및 우수한 열 안정성 덕분에 실리콘 카바이드 재료는 확산, 산화, CVD, 어닐링 등 다양한 열처리 공정에 널리 활용된다. 반도체 등급의 실리콘 카바이드 웨이퍼 보트는 고품질 세라믹 제품으로, 주로 반도체 확산 공정에 사용되며 반도체 제조 공정에서 없어서는 안 될 도구이다.
장점
기존의 석영 웨이퍼 보트와 비교했을 때, 반도체 등급의 실리콘 카바이드 결정 보트는 마모 저항성, 부식 저항성, 고온 충격 저항성, 플라즈마 폭격에 대한 저항성, 고온 하중 지지 능력, 높은 열 전도율, 우수한 발열 특성 및 장기간 사용 시 휨이나 변형이 적다는 특성을 가지고 있습니다. 고온 조건에서 실리콘 카바이드 웨이퍼 보트는 쉽게 변형되거나 파손되지 않아 웨이퍼 제조의 안정성과 수율을 보장합니다. 또한 실리콘 카바이드 웨이퍼 보트는 수명이 길어 교체 빈도와 유지보수 비용을 줄일 수 있으며, 반도체 기업에 더 큰 경제적 이점을 제공합니다.
