EN
Apraksts
Pusvadītāju klases silīcija karbīda plāksnīšu laiva ir augstas veiktspējas keramikas produkts, ko galvenokārt izmanto pusvadītāju difūzijas procesos.
Specifikācijas
KCE® SiSiC/RBSiC tehniskā specifikācija
| Tehniski parametri | Drošības un drošības politika | Vērtību |
| Silīcija karbīda saturs | % | 85 |
| Brīvā silīcija saturs | % | 15 |
| Izkliedes blīvums 20°C | g/cm³ | ≥3.02 |
| Atvērta porozitāte | Tilpuma % | 0 |
| Cietība HK | kg/mm² | 2600 |
| Liekšanas izturība 20°C | MPa | 250 |
| Liekšanas izturība 1200°C | MPa | 280 |
| 20 – 1000°C (Termiskās izplešanās koeficients) | 10–6 K–1 | 4.5 |
| Termiskā vadītspēja 1000°C | W/m.k | 45 |
| Statiska 20°C (Elastiskuma modulis) | Gpa | 330 |
| Darba temperatūra | °C | 1300 |
| Maks. darba temperatūra (gaisā) | °C | 1380 |
Lietojumi
Silīcija karbīda (SiC) vafļu laiva ir augstas temperatūras izturīgs komponents, ko izmanto krāsns caurulēs vafļu iekraušanai augstas temperatūras apstrādei. Tā kā silīcija karbīdam piemīt augsta termiskā izturība, ķīmiskā korozijizturība un laba termiskā stabilitāte, tas plaši tiek izmantots dažādos termoapstrādes procesos, piemēram, difūzijā, oksidācijā, CVD, atkausēšanā utt. Pusvadītāju klases silīcija karbīda vafļu laiva ir augstas veiktspējas keramikas produkts, galvenokārt paredzēts pusvadītāju difūzijas procesiem, un tā ir neatņemama rīks pusvadītāju ražošanas procesā.
Priekšrocības
Salīdzinājumā ar tradicionālajiem kvartaļa plastinu kuģiem, pusvadītāju klases silīcija karbīda kristāla kuģi izceļas ar nodilumizturību, korozijizturību, augstas temperatūras iedarbības izturību, izturību pret plazmas bombardēšanu, augstu temperatūras izturību, augstu siltuma vadāmību, labu siltuma izkliedi un ilgstošu lietošanu bez vieglas lieces vai deformācijas. Augstās temperatūrās silīcija karbīda plastinu kuģi nav tendēti viegli deformēties vai lūzt, nodrošinot stabilitāti un iznākumu plastinu ražošanā. Turklāt silīcija karbīda plastinu kuģu kalpošanas laiks ir garāks, samazinot nomaines biežumu un uzturēšanas izmaksas, kas pusvadītāju uzņēmumiem nodrošina lielākas ekonomiskās priekšrocības.
