EN
Təsvir
Yarımkeçirici sinifli silisium karbid plastinka gəmisi yarımkeçiricilərin diffuziya proseslərində əsasən istifadə olunan yüksək performanslı keramik məhsuldur.
Texniki xarakteristikalar
KCE® SiSiC/RBSiC Texniki Məlumat Vərəqi
| Texniki Parametrlər | Vahid | Qiymət |
| Silisium karbidin miqdarı | % | 85 |
| Silisiumun sərbəst miqdarı | % | 15 |
| Həcmi sıxlıq 20°C | g/cm³ | ≥3.02 |
| Açıq porozite | Həcm % | 0 |
| Sərtlik HK | kq/mm² | 2600 |
| Eynək möhkəmliyi 20°C | Mpa | 250 |
| Eynək möhkəmliyi 1200°C | Mpa | 280 |
| 20 – 1000°C (Termal genişlənmə əmsalı) | 10–6 K–1 | 4.5 |
| Termal keçiricilik 1000°C | Vt/m·K | 45 |
| Statik 20°C (Elastiklik Modulu) | GPa | 330 |
| Işləmə temperaturu | °C | 1300 |
| Maks. İş temp. (hava) | °C | 1380 |
Tətbiq sahələri
Silisium karbid (SiC) plastinka qayığı yüksək temperaturda lövhələrin yüklənməsi üçün peşlərdə istifadə olunan temperaturğa davamlı komponentdir və yüksək temperaturlu emal üçün nəzərdə tutulmuşdur. Yüksək temperatur müqaviməti, kimyəvi korroziyaya davamlılığı və yaxşı istilik sabitliyi səbəbindən silisium karbid materialları diffuziya, oksidləşmə CVD, anilinq kimi müxtəlif istilik emal proseslərində geniş istifadə olunur. Yarımkeçirici səviyyəli silisium karbid plastinka qayığı yüksək performanslı keramika məhsuludur və əsasən yarımkeçiricilərin diffuziya proseslərində istifadə olunur və yarımkeçirici istehsal prosesində əvəzsiz alətdir.
Üstünlüklər
Ənənəvi kvarts plastinkaların daşınması üçün istifadə olunan qayığa nisbətən yarımkeçirici səviyyəli silisium karbid kristal qayıqları aşınmaya, korroziyaya, yüksək temperatur təsirinə, plazma bombardımanına, yüksək temperaturda işləməyə, yüksək istilik keçiriciliyinə, istilin tez yayılmasına və uzun müddət istifadədən sonra asanlıqla əyilməyə və deformasiyaya tab gətirməyə malikdir. Yüksək temperatur şəraitində silisium karbid plastinka qayıqları asanlıqla deformasiyaya uğramır və ya pozulmur, bu da plastinkaların istehsalının sabitliyini və çıxarılmasını təmin edir. Bundan əlavə, silisium karbid plastinka qayıqlarının xidmət ömrü daha uzundur, bu da əvəzetmə tezliyini və texniki xidmət xərclərini azaldır və yarımkeçirici müəssisələrə daha böyük iqtisadi fayda gətirir.
