EN
الوصف
قارب رقائق كربيد السيليكون من الدرجة شبه الموصلة هو منتج سيراميك عالي الأداء يُستخدم بشكل رئيسي في عمليات انتشار أشباه الموصلات.
المواصفات
ورقة البيانات الفنية KCE® SiSiC/RBSiC
| المعلمات الفنية | وحدة | القيمة |
| محتوى كربيد السيليكون | % | 85 |
| محتوى السيليكون الحر | % | 15 |
| الكثافة الظاهرية عند 20°C | ج/سم³ | ≥3.02 |
| المسامية المفتوحة | ٪ حجمي | 0 |
| الصلادة HK | كجم/مم² | 2600 |
| مقاومة الانحناء عند 20°م | مبا | 250 |
| مقاومة الانحناء عند 1200°م | مبا | 280 |
| 20 – 1000°م (معامل التمدد الحراري) | 10–6 ك–1 | 4.5 |
| الconductivity الحراري عند 1000°م | W/م.ك | 45 |
| ثابت عند 20°م (معامل المرونة) | GPa | 330 |
| درجة حرارة التشغيل | °C | 1300 |
| درجة الحرارة القصوى للخدمة (في الهواء) | °C | 1380 |
التطبيقات
قارب كربيد السيليكون هو مكوّن مقاوم للحرارة العالية ويُستخدم في أنابيب الأفران لتحميل اللوحات لأغراض المعالجة الحرارية العالية. نظرًا لمقاومته العالية للحرارة ومقاومة التآكل الكيميائي والاستقرار الحراري الجيد، تُستخدم مواد كربيد السيليكون على نطاق واسع في مختلف عمليات المعالجة الحرارية مثل الانتشار، والأكسدة، وتترسيب البخار الكيميائي (CVD)، والتسخين المسبق (Annealing)، إلخ. إن قارب وحدة السيليكون كاربايد من الدرجة شبه الموصلة هو منتج سيراميك عالي الأداء يُستخدم بشكل رئيسي في عمليات الانتشار شبه الموصلة، وهو أداة لا غنى عنها في عملية تصنيع أشباه الموصلات.
المزايا
مقارنةً بقوارب الكوارتز التقليدية، تتميز قوارب كريستال كربيد السيليكون من الدرجة شبه الموصلة بخصائص مقاومة التآكل، ومقاومة التآكل الكيميائي، ومقاومة الصدمات الحرارية العالية، ومقاومة القصف بالبلازما، وقدرة التحمل عند درجات الحرارة العالية، والتوصيل الحراري العالي، والتبديد الحراري العالي، واستخدام طويل الأمد دون الانحناء أو التشوه بسهولة. في الظروف ذات درجات الحرارة العالية، لا تشوه قوارب كربيد السيليكون للرقائق بسهولة ولا تنكسر، مما يضمن استقرار وإنتاجية تصنيع الرقائق. بالإضافة إلى ذلك، فإن عمر خدمة قوارب كربيد السيليكون للرقائق أطول، مما يقلل من تكرار الاستبدال وتكاليف الصيانة، ويحقق مزايا اقتصادية أكبر للشركات شبه الموصلة.
