EN
Opis
Čamac za pločice od poluvodičkog silicijevog karbida visoke klase je keramički proizvod visokih performansi koji se prvenstveno koristi u difuznim procesima u poluvodičkoj industriji.
Specifikacije
KCE® SiSiC/RBSiC Tehnički podatkovni list
| Tehnički parametri | Jedinica | Vrijednost |
| Sadržaj silicijevog karbida | % | 85 |
| Sadržaj slobodnog silicija | % | 15 |
| Volumna gustoća kod 20°C | g/cm³ | ≥3.02 |
| Otvorena poroznost | Vol % | 0 |
| Tvrdoća HK | kg/mm² | 2600 |
| Čvrstoća na savijanje 20°C | MPa | 250 |
| Čvrstoća na savijanje 1200°C | MPa | 280 |
| 20 – 1000°C (koeficijent termičkog širenja) | 10–6 K–1 | 4.5 |
| Toplinska vodljivost 1000°C | W/m.K | 45 |
| Statički 20°C (modul elastičnosti) | GPa | 330 |
| Radna temperatura | °C | 1300 |
| Maks. radna temp. (zrak) | °C | 1380 |
Primjene
Čamac od silicijevog karbida (SiC) je komponenta otporna na visoke temperature koja se koristi u cijevima peći za učitavanje pločica radi tretmana na visokim temperaturama. Zbog svoje otpornosti na visoke temperature, kemijsku otpornost na koroziju i dobre termalne stabilnosti, materijali od silicijevog karbida široko se koriste u različitim procesima toplinske obrade poput difuzije, oksidacije CVD, žarenja itd. Čamac za pločice od poluvodičkog silicijevog karbida je visokoperformantni keramički proizvod koji se uglavnom koristi u procesima difuzije poluvodiča i neophodan je alat u proizvodnji poluvodiča.
Prednosti
U usporedbi s tradicionalnim čamcima za kvarc, čamci od kristalnih karbida silicijuma imaju karakteristike otpornosti na habanje, otpornosti na koroziju, otpornosti na udar visoke temperature, otpornosti na bombardiranje plazme, visoku nosivost na temperaturi, visoku toplotnu provodljivost, U uvjetima visoke temperature, čamci za pločice od silicijuma ne deformiraju se lako niti se lomljaju, što osigurava stabilnost i prinos proizvodnje pločica. Osim toga, radni vijek čamca za pločice od silicijuma karbida je duži, što smanjuje učestalost zamjene i troškove održavanja, što donosi veće gospodarske koristi poduzećima za poluprovodnike.
