EN
Deskripsi
Perahu wafer silikon karbida kelas semikonduktor adalah produk keramik berkinerja tinggi yang terutama digunakan dalam proses difusi semikonduktor.
Spesifikasi
Lembar Data Teknis KCE® SiSiC/RBSiC
| Parameter Teknis | Unit | Nilai |
| Kandungan Karbida Silikon | % | 85 |
| Kandungan Silikon Bebas | % | 15 |
| Massa Jenis Curah 20°C | g/cm³ | ≥3.02 |
| Porositas Terbuka | Vol % | 0 |
| Kekerasan HK | kg/mm² | 2600 |
| Kekuatan Lentur 20°C | MPa | 250 |
| Kekuatan Lentur 1200°C | MPa | 280 |
| 20 – 1000°C (Koefisien Muai Termal) | 10–6 K–1 | 4.5 |
| Konduktivitas Termal 1000°C | W/m.k | 45 |
| Statis 20°C (Modulus Elastisitas) | GPa | 330 |
| Suhu Operasi | °C | 1300 |
| Suhu Kerja Maks (udara) | °C | 1380 |
Aplikasi
Perahu wafer silikon karbida (SiC) adalah komponen tahan suhu tinggi yang digunakan dalam tabung tungku untuk memuat wafer dalam proses perlakuan panas bersuhu tinggi. Karena ketahanannya terhadap suhu tinggi, ketahanan terhadap korosi kimia, serta stabilitas termal yang baik, bahan silikon karbida banyak digunakan dalam berbagai proses perlakuan panas seperti difusi, oksidasi, CVD, Annealing, dan lain-lain. Perahu wafer silikon karbida kelas semikonduktor merupakan produk keramik berperforma tinggi yang terutama digunakan dalam proses difusi semikonduktor dan merupakan alat yang tak tergantikan dalam proses manufaktur semikonduktor.
Keunggulan
Dibandingkan dengan perahu wafer kuarsa tradisional, perahu kristal silikon karbida kelas semikonduktor memiliki karakteristik tahan aus, tahan korosi, tahan terhadap benturan suhu tinggi, tahan terhadap bombardir plasma, kapasitas dukung suhu tinggi, konduktivitas termal tinggi, pembuangan panas yang baik, serta penggunaan jangka panjang tanpa mudah melengkung atau berubah bentuk. Dalam kondisi suhu tinggi, perahu wafer silikon karbida tidak mudah berubah bentuk atau patah, sehingga menjamin stabilitas dan hasil produksi manufaktur wafer. Selain itu, masa pakai perahu wafer silikon karbida lebih lama, mengurangi frekuensi penggantian dan biaya pemeliharaan, memberikan manfaat ekonomi yang lebih besar bagi perusahaan semikonduktor.
