EN
Popis
Ložnica pre platne z karbidu kremíka polovodičovej triedy je vysokovýkonný keramický výrobok, ktorý sa hlavne používa pri difúznych procesoch v polovodičoch.
Špecifikácie
KCE® SiSiC/RBSiC Technický údajový list
| Technické parametre | Jednotka | Hodnota |
| Obsah karbidu kremíka | % | 85 |
| Obsah voľného kremíka | % | 15 |
| Objemová hmotnosť pri 20°C | g/cm³ | ≥3.02 |
| Otvorená pórozita | Vol % | 0 |
| Tvrdosť HK | kg/mm² | 2600 |
| Pevnosť v ohybe 20°C | MPa | 250 |
| Pevnosť v ohybe 1200°C | MPa | 280 |
| 20 – 1000°C (Súčiniteľ tepelnej rozťažnosti) | 10–6 K–1 | 4.5 |
| Tepelná vodivosť 1000°C | W/m.k | 45 |
| Statické 20°C (Modul pružnosti) | GPa | 330 |
| Pracovná teplota | °C | 1300 |
| Max. prevádzková teplota (vzduch) | °C | 1380 |
Aplikácie
Lodička z karbidu kremíka (SiC) je komponent odolný voči vysokým teplotám, ktorá sa používa vo vnútri pecných trubíc na ukladanie waferov pri tepelnom spracovaní pri vysokých teplotách. Vzhľadom na svoju vysokú odolnosť voči teplote, chemickej korózii a dobrú tepelnú stabilitu sa materiály z karbidu kremíka široko využívajú v rôznych procesoch tepelného spracovania, ako sú difúzia, oxidácia, CVD, žíhanie atď. Lodička z polovodičového karbidu kremíka je vysokovýkonný keramický výrobok, ktorý sa hlavne používa v difúznych procesoch pri výrobe polovodičov a je nevyhnutným nástrojom v procese výroby polovodičov.
Výhody
V porovnaní s tradičnými kvapkovými člnmi z kremeňa, člny z kryštálu karbidu kremíka polovodičovej triedy majú vlastnosti ako odolnosť voči opotrebeniu, korózii, tepelnému nárazu, odolnosť voči bombardovaniu plazmou, vysokú nosnosť pri vysokých teplotách, vysokú tepelnú vodivosť, vysoké odvádzanie tepla a dlhodobé použitie bez ľahkého ohýbania a deformácie. Pri vysokých teplotách sa člny z karbidu kremíka pre wafer neprepínajú alebo netrúšia, čo zaisťuje stabilitu a výnos výroby waferov. Okrem toho je životnosť člnov z karbidu kremíka pre wafer dlhšia, čo znižuje frekvenciu výmeny a prevádzkové náklady, čím podnikom v oblasti polovodičov prináša väčšie ekonomické výhody.
