EN
Опис
Плашка для напівпровідникових пластин з карбіду кремнію — це високоефективний керамічний виріб, призначений переважно для процесів дифузії в напівпровідниках.
Специфікації
KCE® SiSiC/RBSiC Технічний паспорт
| Технічні параметри | Одиниця | Значення |
| Вміст карбіду кремнію | % | 85 |
| Вміст вільного кремнію | % | 15 |
| Об'ємна густина 20°C | г/см³ | ≥3.02 |
| Відкрита пористість | Об'ємн. % | 0 |
| Твердість HK | кг/мм² | 2600 |
| Міцність на згин при 20°C | Мпа | 250 |
| Міцність на згин при 1200°C | Мпа | 280 |
| 20 – 1000°C (коефіцієнт теплового розширення) | 10–6 K–1 | 4.5 |
| Теплопровідність при 1000°C | Вт/м·К | 45 |
| Статичний 20°C (модуль пружності) | ГПа | 330 |
| Робоча температура | °C | 1300 |
| Макс. робоча температура (у повітрі) | °C | 1380 |
Застосування
Човен для пластин з карбіду кремнію (SiC) — це високотемпературний компонент, що використовується в печах для завантаження пластин з метою обробки при високих температурах. Завдяки високій термостійкості, стійкості до хімічного корозійного впливу та добре теплової стабільності, матеріали з карбіду кремнію широко застосовуються в різних процесах термообробки, таких як дифузія, окиснення, CVD, відпал тощо. Човен для напівпровідникових пластин з карбіду кремнію — це високоефективний керамічний виріб, що в основному використовується в процесах дифузії напівпровідників і є незамінним інструментом у виробничому процесі напівпровідників.
Переваги
Порівняно з традиційними кварцовими човнами для пластин, човни з кристалічного карбіду кремнію напівпровідникового класу мають такі характеристики: стійкість до зносу, корозії, високотемпературних ударів, стійкість до бомбардування плазмою, високу несучу здатність при високих температурах, високу теплопровідність, ефективне відведення тепла та довготривале використання без схильності до вигинання й деформації. У високотемпературних умовах човни з карбіду кремнію не схильні до деформації чи руйнування, забезпечуючи стабільність і вищий вихід продукту під час виробництва пластин. Крім того, термін служби човнів з карбіду кремнію довший, що зменшує частоту заміни та витрати на обслуговування, забезпечуючи більші економічні переваги підприємствам напівпровідникової галузі.
