EN
Descrizione
La barca portawafers in carburo di silicio di grado semiconduttore è un prodotto ceramico ad alte prestazioni principalmente utilizzato nei processi di diffusione dei semiconduttori.
Specifiche
Scheda tecnica KCE® SiSiC/RBSiC
| Parametri tecnici | Unità | Valore |
| Contenuto di Carburo di Silicio | % | 85 |
| Contenuto di Silicio libero | % | 15 |
| Densità apparente a 20°C | g/cm3 | ≥3.02 |
| Porosità Aperta | Vol % | 0 |
| Durezza HK | kg/mm² | 2600 |
| Resistenza alla flessione 20°C | Mpa | 250 |
| Resistenza alla flessione 1200°C | Mpa | 280 |
| 20 – 1000°C (Coefficiente di dilatazione termica) | 10–6 K–1 | 4.5 |
| Conducibilità termica 1000°C | W/m·K | 45 |
| Statico 20°C (Modulo di Elasticità) | GPA | 330 |
| Temperatura di funzionamento | °C | 1300 |
| Temp. max di utilizzo (aria) | °C | 1380 |
Applicazioni
La barca per wafer al carburo di silicio (SiC) è un componente resistente alle alte temperature utilizzato nei tubi dei forni per caricare wafer destinati a trattamenti termici ad alta temperatura. Grazie all'elevata resistenza termica, alla resistenza alla corrosione chimica e alla buona stabilità termica, i materiali in carburo di silicio sono ampiamente impiegati in diversi processi termici come diffusione, ossidazione, CVD, ricottura, ecc. La barca per wafer al carburo di silicio di grado semiconduttore è un prodotto ceramico ad alte prestazioni, utilizzata principalmente nei processi di diffusione dei semiconduttori ed è uno strumento indispensabile nel processo di produzione dei semiconduttori.
Vantaggi
Rispetto alle tradizionali barche in quarzo per wafer, le barche in cristallo di carburo di silicio di grado semiconduttore presentano caratteristiche come resistenza all'usura, resistenza alla corrosione, resistenza agli shock termici, resistenza al bombardamento al plasma, elevata capacità portante a temperature elevate, alta conducibilità termica, elevata dissipazione del calore e lunga durata senza facili deformazioni o incurvamenti. In condizioni di alta temperatura, le barche in carburo di silicio per wafer non si deformano né si rompono facilmente, garantendo stabilità e resa nella produzione di wafer. Inoltre, la vita utile delle barche in carburo di silicio per wafer è più lunga, riducendo la frequenza di sostituzione e i costi di manutenzione, portando maggiori benefici economici alle aziende semiconduttrici.
