EN
توضیح
قایق ویفر کاربید سیلیسیم درجه نیمه‌هادی یک محصول سرامیکی با عملکرد بالا است که عمدتاً در فرآیندهای پخش نیمه‌هادی استفاده می‌شود.
مشخصات
برگه داده‌های فنی KCE® SiSiC/RBSiC
| پارامترهای فنی | واحد | ارزش |
| درصد کاربید سیلیسیم | % | 85 |
| درصد سیلیسیم آزاد | % | 15 |
| چگالی توده‌ای در 20°C | گرم بر سانتی‌متر مکعب | ≥3.02 |
| تخلخل باز | درصد حجمی | 0 |
| سختی HK | کیلوگرم/میلی‌متر مربع | 2600 |
| استحکام خمشی 20°C | مگاپاسکال | 250 |
| استحکام خمشی 1200°C | مگاپاسکال | 280 |
| 20 – 1000°C (ضریب انبساط حرارتی) | 10–6 K–1 | 4.5 |
| هادی حرارتی 1000°C | وات/متر.کلوین | 45 |
| استاتیک 20°C (مدولار الاستیسیته) | گیگاپاسکال | 330 |
| دمای کاری | درجه سانتی گراد | 1300 |
| حداکثر دمای کاری (هوا) | درجه سانتی گراد | 1380 |
کاربردها
قایق ویفر کاربید سیلیسیوم (SiC) یک قطعه مقاوم در برابر دمای بالا است که در لوله‌های کوره برای بارگیری ویفرها جهت پردازش در دمای بالا استفاده می‌شود. با توجه به مقاومت بالای آن در برابر دمای شدید، خوردگی شیمیایی و پایداری حرارتی خوب، مواد کاربید سیلیسیوم در فرآیندهای مختلف حرارتی مانند انتشار، اکسیداسیون، CVD، عملیات آنیلینگ و غیره به طور گسترده استفاده می‌شوند. قایق ویفر کاربید سیلیسیوم درجه نیمه‌هادی یک محصول سرامیکی با عملکرد بالا است که عمدتاً در فرآیندهای انتشار نیمه‌هادی استفاده می‌شود و ابزاری ضروری در فرآیند تولید نیمه‌هادی محسوب می‌شود.
مزایا
در مقایسه با قایق‌های سیلیسیم کوارتز سنتی، قایق‌های بلور کاربید سیلیسیوم درجه نیمه‌هادی دارای ویژگی‌هایی از جمله مقاومت در برابر سایش، مقاومت در برابر خوردگی، مقاومت در برابر ضربه دمای بالا، مقاومت در برابر بمباران پلاسما، ظرفیت بارگیری دمای بالا، هدایت حرارتی بالا، تابش گرمایی بالا و استفاده طولانی‌مدت بدون خم شدن و تغییر شکل آسان هستند. در شرایط دمای بالا، قایق‌های کاربید سیلیسیوم به راحتی تغییر شکل یا شکسته نمی‌شوند و این امر ثبات و بازده تولید ویفر را تضمین می‌کند. علاوه بر این، عمر مفید قایق‌های کاربید سیلیسیوم طولانی‌تر است که فرکانس تعویض و هزینه‌های نگهداری را کاهش می‌دهد و منافع اقتصادی بیشتری را برای شرکت‌های نیمه‌هادی به همراه می‌آورد.
