Tavsif
KCE® Reaksiya orqali sinterlangan silitsiy karbiddan tayyorlangan konsolli lopastar/vintlar, quyish yoki 3D bosib chiqarish usuli bilan shakllantiriladi, reaksiya orqali sinterlanadi, so'ngra chizmada ko'rsatilgan talablarga muvofiq qum bilan tozalanadi va aniq o'rab ishlanadi, bu esa foydalanish talablarini qondiradi. Ular yarimo'tkazgich plastinkalarni yuklash tizimining asosiy komponentlaridir va asosiy o'lchamlari 2378 mm, 2550 mm, 2660 mm va boshqalarga teng. Bu mahsulot polikristall yoki monokristall silitsiy plastinkalarning diffuziya pechalarda (diffuziya) parda qoplamasi jarayonida xizmat ko'rsatadi hamda yuqori haroratli (1000-1300 ℃) muhitda silitsiy plastinkalarni tashishda asosiy rol o'ynaydi.
Koʻrsatkichlari
KCE® SiSiC/RBSiC Texnik ma'lumotlar varaqasi
Texnik parametrlar | Бирлик | Qiymat |
Kremniy karbid tarkibi | % | 85 |
Bepul kremniy tarkibi | % | 15 |
20°C da zichlik zichligi | g/cm³ | ≥3.02 |
Ochiq poroznost | Hajm % | 0 |
Qattiqlik HK | kg/mm² | 2600 |
Egurish kuchli 20°C | Mpa | 250 |
Egurish kuchli 1200°C | Mpa | 280 |
20 – 1000°C (Isiqlik kengayish koeffitsiyenti) | 10–6 K–1 | 4.5 |
Isiqlik o'tkazuvchanligi 1000°C | Vt/m.K | 45 |
Statik 20°C (Elastiklik moduli) | GPa | 330 |
Ish harorati | °C | 1300 |
Maks. Ishchi harorat (havo) | °C | 1380 |
Qo'llanish sohaları
Reaksiya orqali sinterlangan silitsiy karbiddan tayyorlangan konsolli lopastar/vintlar yarimo'tkazgich plastinkalarni yuklash tizimining asosiy komponentlaridir.
Afzalliklar
Kremniy karbidli tirgakli qanotlar/propellerlar barqaror ishlash ko'rsatkichiga ega, yuqori haroratli muhitda shaklini o'zgartirmaydi, katta plastinkani yuklab olish imkoniyatiga ega, tezkor sovutilish va isitilishga chidamli, issiqlik kengayish koeffitsienti kichik bo'lib, foydalanish muddati uzoq.
Maksimal ish harorati 1380 ℃ gacha yetishi mumkin; Issiqlik kengayishining past darajasi; Juda kuchli issiqlik ta'siriga chidamlilik; Tirgakli propeller va LPCVD qoplamasining issiqlik kengayish koeffitsienti o'xshash bo'lib, ularning LPCVDdagi qo'llanilishi xizmat ko'rsatish va tozalash tsiklini ancha uzaytiradi hamda ifloslanishni sezilarli darajada kamaytiradi.