EN
Leírás
KCE® Reakciós módszerrel égetett szilíciumkarbid konzolos lapátok/propellerek, amelyek öntési vagy 3D-s nyomtatási eljárással készülnek, reakciós égetésen mennek keresztül, majd homokfúvással és pontos gépi megmunkálással készülnek a rajzoknak megfelelően, hogy teljesítsék a használati követelményeket. Ezek a félvezető kristálylapok betöltő rendszerének kulcsfontosságú elemei, fő méreteik: 2378 mm, 2550 mm, 2660 mm stb. Polikristályos vagy monokristályos szilíciumlapok (diffúziós) bevonási folyamatában használják őket diffúziós kemencékben, és szerepet játszanak a szilíciumlapok hordozásában és szállításában magas hőmérsékletű környezetben (1000–1300 ℃).
Specifikációk
KCE® SiSiC/RBSiC Műszaki adatlap
| Műszaki paraméterek | Egység | Érték |
| Szilíciumkarbid tartalom | % | 85 |
| Szabad szilícium tartalom | % | 15 |
| Tömegsűrűség 20°C-on | g/cm³ | ≥3.02 |
| Nyitott porozitás | Vol % | 0 |
| Keménység HK | kg/mm² | 2600 |
| Hajlítószilárdság 20°C | MPA | 250 |
| Hajlítószilárdság 1200°C | MPA | 280 |
| 20 – 1000°C (Hőtágulási együttható) | 10–6 K–1 | 4.5 |
| Hővezető képesség 1000°C | W/m·K | 45 |
| Statikus 20°C (Rugalmassági modulus) | GPa | 330 |
| Működési hőmérséklet | °C | 1300 |
| Max. üzemeltetési hőmérséklet (levegőben) | °C | 1380 |
Alkalmazások
A reakciós módszerrel égetett szilíciumkarbid konzolos lapátok/propellerek a félvezető kristálylapok betöltő rendszerének kulcsfontosságú elemei.
Előnyök
A szilíciumkarbid karimás lapátok/propellerek stabil teljesítményűek, nem deformálódnak magas hőmérsékleten, nagy lemezméretet bírnak el, ellenállnak a gyors hűtésnek és melegedésnek, kis a hőtágulási együtthatójuk, és hosszú élettartamuk van.
A maximális üzemelési hőmérséklet elérheti a 1380 ℃-ot; Alacsony hőtágulás; Rendkívül erős termikus sokkállóság; A karimás propeller és az LPCVD bevonat hőtágulási együtthatója hasonló, alkalmazásuk az LPCVD-ben jelentősen meghosszabbítja a karbantartási és tisztítási ciklust, és lényegesen csökkenti a szennyezőanyagokat.
