EN
Aprašymas
KCE® reakciniu būdu sinteriuoto silicio karbido konzoliniai mentės / propeleriai, formuojami liejimo arba 3D spausdinimo būdu, reakciniu būdu sinteruojami, tada smėliu apdorojami ir tiksliai apdirbami pagal brėžinių reikalavimus, kad atitiktų naudojimo reikalavimus. Tai yra pagrindiniai puslaidininkinių plokštelių įkrovos sistemų komponentai, kurių pagrindiniai matmenys yra 2378 mm, 2550 mm, 2660 mm ir kt. Jie naudojami (difuzijos) dangos dėvimo procese polikristalinių arba vienkristalių silicio plokštelių difuzijos krosnyse bei atlieka funkciją nešti ir transportuoti silicio plokšteles aukštoje temperatūroje (1000–1300 ℃).
Specializacijos
KCE® SiSiC/RBSiC Techninės savybės
| Techniniai parametrai | VIENETAS | Vertė |
| Silicio karbido kiekis | % | 85 |
| Laisvo silicio kiekis | % | 15 |
| Bendras tankis 20°C | g/cm³ | ≥3.02 |
| Atvira poringė | Tūrio % | 0 |
| Kietumas HK | kg/mm² | 2600 |
| Lenkimo stipris 20°C | MPA | 250 |
| Lenkimo stipris 1200°C | MPA | 280 |
| 20 – 1000°C (Šiluminio plėtimosi koeficientas) | 10–6 K–1 | 4.5 |
| Šilumos laidumas 1000°C | Vat/m.k | 45 |
| Statinis 20°C (Elastiškumo modulis) | Gpa | 330 |
| Darbo temperatūra | °C | 1300 |
| Maks. darbo temperatūra (ore) | °C | 1380 |
Panaudojimo būdai
Reakciniu būdu sinteriuoto silicio karbido konzolinės mentės / propeleriai yra pagrindiniai puslaidininkinių plokštelių įkrovos sistemos komponentai.
Privalumai
Silicio karbido konoliniai menteliai / sraigtai turi stabilų našumą, aukštoje temperatūroje nedeformuojasi, gali išlaikyti didelę plokštelės apkrovą, atsparūs greitam aušinimui ir kaitinimui, turi mažą šiluminės plėtimosi koeficientą ir ilgą tarnavimo laiką.
Maksimali darbinė temperatūra gali pasiekti 1380 ℃; Mažas šiluminis plėtimasis; Ypač stipri šiluminės smukos atsparumas; Konolinio sraigto ir LPCVD dengiamo sluoksnio šiluminio plėtimosi koeficientai yra panašūs, todėl jų naudojimas LPCVD žymiai pailgina techninės priežiūros ir valymo ciklą bei žymiai sumažina teršalus.
