EN
Təsvir
KCE® Reaksiya ilə sinterləşdirilmiş silisium karbid konsoleli paletlar/vintlər, formaqoyma və ya 3D çap prosesi ilə hazırlanır, reaksiya yolu ilə sinterləşdirilir, sonra qumla təmizlənir və işləmə tələblərinə uyğun dəqiq maşında emal olunur ki, istifadə tələblərini ödəsin. Onlar yarımkeçirici lövhə yükləmə sistemlərinin əsas komponentləridir və əsas ölçütləri 2378 mm, 2550 mm, 2660 mm və s. kimi təşkil edir. Bu məhsullar polikristallik silisium lövhələrinin və ya monokristallik silisium lövhələrinin difuziya peçlərində (diffuziya) örtük prosesində istifadə olunur və yüksək temperatur şəraitində (1000-1300 ℃) silisium lövhələrin daşınmasında və köçürülməsində rol oynayır.
Texniki xarakteristikalar
KCE® SiSiC/RBSiC Texniki Məlumat Vərəqi
| Texniki Parametrlər | Vahid | Qiymət |
| Silisium karbidin miqdarı | % | 85 |
| Silisiumun sərbəst miqdarı | % | 15 |
| Həcmi sıxlıq 20°C | g/cm³ | ≥3.02 |
| Açıq porozite | Həcm % | 0 |
| Sərtlik HK | kq/mm² | 2600 |
| Eynək möhkəmliyi 20°C | Mpa | 250 |
| Eynək möhkəmliyi 1200°C | Mpa | 280 |
| 20 – 1000°C (Termal genişlənmə əmsalı) | 10–6 K–1 | 4.5 |
| Termal keçiricilik 1000°C | Vt/m·K | 45 |
| Statik 20°C (Elastiklik Modulu) | GPa | 330 |
| Işləmə temperaturu | °C | 1300 |
| Maks. İş temp. (hava) | °C | 1380 |
Tətbiq sahələri
Reaksiya ilə sinterləşdirilmiş silisium karbid konsoleli paletlar/vintlər yarımkeçirici lövhə yükləmə sisteminin əsas komponentləridir.
Üstünlüklər
Silisium karbid konsol küvetlər/vintlər sabit performans göstərir, yüksək temperatur şəraitində deformasiyaya uğramır, böyük lövhə yükləmə tutumuna malikdir, sürətli soyuma və qızdırmağa davamlıdır, istilik genişlənmə əmsalı kiçikdir və uzun xidmət ömrünə malikdir.
Maksimum iş temperaturu 1380 ℃-ə çata bilər; Kiçik istilik genişlənməsi; Çox güclü istilik təzyiqi stabilliyi; Konsol vinlinin və LPCVD örtüyünün istilik genişlənmə əmsalları oxşardır və onların LPCVD-də tətbiqi texniki xidmət və təmizləmə dövrünü əhəmiyyətli dərəcədə uzadır və ehtiva edilən çirkləndiriciləri xeyli azaldır.
