EN
Консольные лопасти/пропеллеры из карбида кремния (SiC) для полупроводниковых систем
Описание
Консольные лопасти/пропеллеры из карбида кремния методом реакционного спекания KCE®, изготовленные литьевым способом или с помощью 3D-печати, подвергнутые реакционному спеканию, затем дробеструйной обработке и точной механической обработке в соответствии с требованиями чертежей для соответствия эксплуатационным требованиям. Это ключевые компоненты систем загрузки полупроводниковых пластин, основные спецификации: 2378 мм, 2550 мм, 2660 мм и т.д. Используются на этапе (диффузионного) нанесения покрытия на пластины поликристаллического или монокристаллического кремния в диффузионных печах, выполняют функцию перемещения и транспортировки кремниевых пластин в условиях высоких температур (1000–1300 °C).
Характеристики
Технический паспорт KCE® SiSiC/RBSiC
| Технические параметры | Единица | Значение |
| Содержание карбида кремния | % | 85 |
| Свободное содержание кремния | % | 15 |
| Объемная плотность при 20°C | г/см³ | ≥3.02 |
| Открытая пористость | Об. % | 0 |
| Твердость HK | кг/мм² | 2600 |
| Предел прочности при изгибе 20°C | МПа | 250 |
| Предел прочности при изгибе 1200°C | МПа | 280 |
| 20 – 1000°C (Коэффициент теплового расширения) | 10–6 K–1 | 4.5 |
| Теплопроводность 1000°C | Вт/м·К | 45 |
| Статический 20°C (модуль упругости) | ГПа | 330 |
| Рабочая температура | °C | 1300 |
| Макс. рабочая температура (воздух) | °C | 1380 |
Применения
Консольные лопасти/пропеллеры из карбида кремния методом реакционного спекания являются ключевыми компонентами системы загрузки полупроводниковых пластин.
Преимущества
Пластины-консоли и пропеллеры из карбида кремния обладают стабильными характеристиками, не деформируются при высоких температурах, имеют большую грузоподъёмность для пластин, устойчивы к резкому охлаждению и нагреву, обладают малым коэффициентом теплового расширения и имеют длительный срок службы.
Максимальная рабочая температура может достигать 1380 ℃; низкое тепловое расширение; чрезвычайно высокая устойчивость к термическим ударам; коэффициент теплового расширения консольного пропеллера и покрытия LPCVD схож, благодаря чему их применение в LPCVD значительно удлиняет циклы обслуживания и очистки и существенно снижает количество загрязнений.
