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Pales en carbure de silicium (SiC) pour levier de commande dans le secteur des semiconducteurs
Description
Pales/hélices en carbure de silicium fritté par réaction KCE®, formées par moulage ou procédé d'impression 3D, frittées par réaction, puis sablées et usinées de précision conformément aux exigences du plan afin de répondre aux conditions d'utilisation. Ce sont des composants clés des systèmes de chargement de plaquettes semi-conductrices, dont les principales spécifications sont 2378 mm, 2550 mm, 2660 mm, etc. Elles sont utilisées dans le processus de revêtement (diffusion) de plaquettes en silicium polycristallin ou monocristallin dans des fours de diffusion, et assurent le transport et la support des plaquettes de silicium en environnement à haute température (1000-1300 ℃).
CARACTÉRISTIQUES
Fiche technique KCE® SiSiC/RBSiC
| Paramètres techniques | Unité | Valeur |
| Teneur en carbure de silicium | % | 85 |
| Teneur en silicium libre | % | 15 |
| Masse volumique à 20°C | g/cm³ | ≥3.02 |
| Porosité ouverte | Vol % | 0 |
| Dureté HK | kg/mm² | 2600 |
| Résistance à la flexion 20°C | MPa | 250 |
| Résistance à la flexion 1200°C | MPa | 280 |
| 20 – 1000°C (Coefficient de dilatation thermique) | 10–6 K–1 | 4.5 |
| Conductivité thermique 1000°C | W/m.k | 45 |
| Statique 20°C (Module d'élasticité) | GPa | 330 |
| Température de fonctionnement | °C | 1300 |
| Temp. max. d'utilisation (air) | °C | 1380 |
Applications
Les pales/hélices en carbure de silicium fritté par réaction sont des composants clés du système de chargement de plaquettes semi-conductrices.
Avantages
Les pales/hélices en carbure de silicium ont une performance stable, ne se déforment pas dans des environnements à haute température, possèdent une grande capacité de chargement de plaquettes, résistent aux refroidissements et chauffages rapides, ont un faible coefficient de dilatation thermique et offrent une longue durée de vie.
La température maximale de fonctionnement peut atteindre 1380 ℃ ; faible dilatation thermique ; stabilité extrêmement élevée au choc thermique ; le coefficient de dilatation thermique de l'hélice en porte-à-faux et du revêtement LPCVD est similaire, et leur utilisation dans les systèmes LPCVD prolonge considérablement les cycles d'entretien et de nettoyage tout en réduisant significativement les polluants.
