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Descripción
Palas/palas hélice de carburo de silicio sinterizadas por reacción KCE®, formadas mediante proceso de fundición o impresión 3D, sinterizadas por reacción, luego arenadas y mecanizadas con precisión según los requisitos del dibujo para cumplir con los requisitos de uso. Son componentes clave de los sistemas de carga de obleas semiconductoras, con especificaciones principales de 2378 mm, 2550 mm, 2660 mm, etc. Se utilizan en el proceso de recubrimiento (difusión) de obleas de silicio policristalino o monocristalino en hornos de difusión, y desempeñan un papel en el transporte y soporte de obleas de silicio en entornos de alta temperatura (1000-1300 ℃).
Presupuesto
Ficha técnica KCE® SiSiC/RBSiC
| Parámetros técnicos | Unidad | Valor |
| Contenido de Carburo de Silicio | % | 85 |
| Contenido de Silicio libre | % | 15 |
| Densidad aparente a 20°C | g/cm³ | ≥3.02 |
| Porosidad Abierta | Vol % | 0 |
| Dureza HK | kg/mm² | 2600 |
| Resistencia a la flexión 20°C | Mpa | 250 |
| Resistencia a la flexión 1200°C | Mpa | 280 |
| 20 – 1000°C (Coeficiente de dilatación térmica) | 10–6 K–1 | 4.5 |
| Conductividad térmica 1000°C | W/m.k | 45 |
| Estático 20°C (Módulo de Elasticidad) | GPa | 330 |
| Temperatura de trabajo | °C | 1300 |
| Temp. máx. de servicio (en aire) | °C | 1380 |
Aplicaciones
Las palas/palas hélice de carburo de silicio sinterizadas por reacción son componentes clave del sistema de carga de obleas semiconductoras.
Ventajas
Las palas/hélices en voladizo de carburo de silicio tienen un rendimiento estable, no se deforman en entornos de alta temperatura, poseen una gran capacidad de carga de obleas, son resistentes a enfriamientos y calentamientos rápidos, tienen un coeficiente térmico de expansión pequeño y una larga vida útil.
La temperatura máxima de operación puede alcanzar los 1380 ℃; baja expansión térmica; estabilidad extremadamente alta frente a choques térmicos; el coeficiente de expansión térmica de la hélice en voladizo y del recubrimiento LPCVD es similar, y su aplicación en LPCVD amplía considerablemente el ciclo de mantenimiento y limpieza y reduce significativamente los contaminantes.
