EN
Περιγραφή
Κοντύβια/προπέλες KCE® από πυρίτιο καρβίδιο με συμπύκνωση αντίδρασης, δημιουργημένα με τη διαδικασία χύτευσης ή 3D εκτύπωσης, συμπυκνωμένα με αντίδραση, στη συνέχεια τροχίζονται με άμμο και επεξεργάζονται με ακρίβεια σύμφωνα με τις απαιτήσεις του σχεδίου για να πληρούν τις απαιτήσεις χρήσης. Αποτελούν βασικά συστατικά των συστημάτων φόρτωσης υποστρωμάτων ημιαγωγών, με κύρια προδιαγραφή 2378 mm, 2550 mm, 2660 mm, κ.λπ. Χρησιμοποιούνται στη διαδικασία (διάχυσης) επικάλυψης πολυκρυσταλλικών ή μονοκρυσταλλικών υποστρωμάτων πυριτίου σε κλίβανους διάχυσης και εξυπηρετούν στη μεταφορά υποστρωμάτων πυριτίου σε περιβάλλοντα υψηλής θερμοκρασίας (1000-1300 ℃).
Ειδικές προδιαγραφές
KCE® SiSiC/RBSiC Τεχνικό φυλλάδιο
| Τεχνικές Παράμετροι | Μονάδα | Τιμή |
| Περιεκτικότητα σε Καρβίδιο του Πυριτίου | % | 85 |
| Περιεκτικότητα σε ελεύθερο πυρίτιο | % | 15 |
| Όγκος Βάρους 20°C | g/cm3 | ≥3.02 |
| Ανοιχτή πορώδης | Όγκος % | 0 |
| Σκληρότητα HK | kg/mm² | 2600 |
| Αντοχή σε Κάμψη 20°C | ΜPa | 250 |
| Αντοχή σε Κάμψη 1200°C | ΜPa | 280 |
| 20 – 1000°C (Συντελεστής Θερμικής Διαστολής) | 10–6 K–1 | 4.5 |
| Θερμική Αγωγιμότητα 1000°C | W/m.K | 45 |
| Στατικός 20°C (Μέτρο Ελαστικότητας) | ΓΔΠ | 330 |
| Θερμοκρασία εργασίας | °C | 1300 |
| Μέγιστη Θερμοκρασία Λειτουργίας (αέρας) | °C | 1380 |
Εφαρμογές
Τα κοντύβια/προπέλες από πυρίτιο καρβίδιο με συμπύκνωση αντίδρασης αποτελούν βασικά συστατικά του συστήματος φόρτωσης υποστρωμάτων ημιαγωγών.
Πλεονεκτήματα
Οι πτερύγια/έλικες από καρβίδιο πυριτίου έχουν σταθερή απόδοση, δεν παραμορφώνονται σε περιβάλλοντα υψηλής θερμοκρασίας, έχουν μεγάλη χωρητικότητα φόρτωσης wafer, αντέχουν σε γρήγορη ψύξη και θέρμανση, έχουν μικρό συντελεστή θερμικής διαστολής και μεγάλη διάρκεια ζωής.
Η μέγιστη θερμοκρασία λειτουργίας μπορεί να φτάσει τους 1380 ℃· Χαμηλή θερμική διαστολή· Εξαιρετικά ισχυρή σταθερότητα σε θερμικές αιφνιδιακές μεταβολές· Ο συντελεστής θερμικής διαστολής του έλικα cantilever και της επικάλυψης LPCVD είναι παρόμοιος, και η χρήση τους στην LPCVD επεκτείνει σημαντικά τον κύκλο συντήρησης και καθαρισμού και μειώνει σημαντικά τη ρύπανση.
