EN
الوصف
مجدافات/دوارات KCE® المصنوعة من كربيد السيليكون المصهور بالتفاعل، والتي تُصنع بواسطة عملية الصب أو الطباعة ثلاثية الأبعاد، ثم تُصهر بالتفاعل، وتُعالج بعد ذلك بالرمل وتشذيب دقيق وفقًا لمتطلبات الرسومات الفنية لتلبية متطلبات الاستخدام. وهي مكونات رئيسية في أنظمة تحميل رقائق أشباه الموصلات، بأطوال رئيسية مثل 2378 مم، 2550 مم، 2660 مم، إلخ. وتُستخدم في عملية (الانتشار) الطلائية لأقراص السيليكون متعدد البلورات أو أحادي البلورة داخل أفران الانتشار، حيث تؤدي دورًا في حمل ونقل أقراص السيليكون في البيئات ذات درجات الحرارة العالية (1000-1300 ℃).
المواصفات
ورقة البيانات الفنية KCE® SiSiC/RBSiC
| المعلمات الفنية | وحدة | القيمة |
| محتوى كربيد السيليكون | % | 85 |
| محتوى السيليكون الحر | % | 15 |
| الكثافة الظاهرية عند 20°C | ج/سم³ | ≥3.02 |
| المسامية المفتوحة | ٪ حجمي | 0 |
| الصلادة HK | كجم/مم² | 2600 |
| مقاومة الانحناء عند 20°م | مبا | 250 |
| مقاومة الانحناء عند 1200°م | مبا | 280 |
| 20 – 1000°م (معامل التمدد الحراري) | 10–6 ك–1 | 4.5 |
| الconductivity الحراري عند 1000°م | W/م.ك | 45 |
| ثابت عند 20°م (معامل المرونة) | GPa | 330 |
| درجة حرارة التشغيل | °C | 1300 |
| درجة الحرارة القصوى للخدمة (في الهواء) | °C | 1380 |
التطبيقات
مجدافات/دوارات كربيد السيليكون المصهور بالتفاعل هي مكونات رئيسية في نظام تحميل رقائق أشباه الموصلات.
المزايا
تتمتع مجارف/مروحيات الرافعة المصنوعة من كربيد السيليكون بأداء مستقر، ولا تشوه في البيئات ذات درجات الحرارة العالية، ولديها قدرة كبيرة على تحمل الأحمال من الرقائق، ومقاومة للتبريد والتسخين السريع، ومعامل صغير للتمدد الحراري، إضافة إلى عمر خدمة طويل.
يمكن أن تصل درجة الحرارة القصوى للتشغيل إلى 1380 ℃؛ تمدد حراري منخفض؛ استقرار قوي للغاية ضد الصدمات الحرارية؛ معامل التمدد الحراري للمروحة المعلقة والمغلفة بتقنية LPCVD متشابه، ويؤدي استخدامها في LPCVD إلى إطالة دورة الصيانة والتنظيف بشكل كبير وتقليل الملوثات بشكل ملحوظ.
