EN
Descriere
Paletele/elicele în consolă din carbura de siliciu sinterizată prin reacție KCE®, formate prin turnare sau proces de imprimare 3D, sinterizate prin reacție, apoi sablate cu nisip și prelucrate precis conform cerințelor desenului pentru a satisface condițiile de utilizare. Acestea sunt componente cheie ale sistemelor de încărcare a waferilor semiconductori, având principalele specificații de 2378 mm, 2550 mm, 2660 mm etc. Sunt utilizate în procesul de (difuziune) acoperire a waferilor de siliciu policristalin sau monocristalin în cuptoare de difuziune și au rolul de a transporta waferii de siliciu în medii cu temperaturi ridicate (1000-1300 ℃).
Specificații
Fișă Tehnică KCE® SiSiC/RBSiC
| Parametrii tehnici | Unitate | Valoare |
| Conținut de Carburi de Siliciu | % | 85 |
| Conținut de Siliciu liber | % | 15 |
| Densitate aparentă la 20°C | g/cm3 | ≥3.02 |
| Porozitate deschisă | Vol % | 0 |
| Duritate HK | kg/mm² | 2600 |
| Rezistență la încovoiere 20°C | MPa | 250 |
| Rezistență la încovoiere 1200°C | MPa | 280 |
| 20 – 1000°C (Coeficientul de dilatare termică) | 10–6 K–1 | 4.5 |
| Conductivitate termică 1000°C | W/m.k | 45 |
| Static 20°C (Modul de Elasticitate) | GPA | 330 |
| Temperatură de funcționare | °C | 1300 |
| Temp. maximă de utilizare (aer) | °C | 1380 |
Aplicații
Paletele/elicele în consolă din carbura de siliciu sinterizată prin reacție sunt componente cheie ale sistemului de încărcare a waferilor semiconductori.
Avantaje
Paletele/elicele în consolă din carbura de siliciu au o performanță stabilă, nu se deformează în medii cu temperaturi ridicate, au o capacitate mare de încărcare a waferului, sunt rezistente la răcirea și încălzirea rapidă, au un coeficient mic de dilatare termică și o durată de viață lungă.
Temperatura maximă de funcționare poate atinge 1380 ℃; Dilatare termică redusă; Stabilitate extrem de puternică la socurile termice; Coeficientul de dilatare termică al elicei în consolă și al stratului LPCVD este similar, iar utilizarea lor în LPCVD extinde semnificativ ciclul de întreținere și curățare și reduce în mod substanțial poluanții.
