تفصیل
KCE® ری ایکشن سینٹرڈ سلیکون کاربائیڈ کینٹی لیور پیڈلز/پروپیلرز، جو ڈھالنے یا 3D پرنٹنگ کے عمل سے تشکیل دیئے جاتے ہیں، ری ایکشن سینٹرنگ کی جاتی ہے، پھر تراش خراش اور منصوبے کی ضروریات کے مطابق درستگی کے ساتھ مشین کی جاتی ہے تاکہ استعمال کی ضروریات پوری ہو سکیں۔ یہ سیمی کنڈکٹر ویفر لوڈنگ سسٹمز کے اہم اجزاء ہیں، جن کی بنیادی خصوصیات 2378mm، 2550mm، 2660mm وغیرہ ہیں۔ ان کا استعمال بہت زیادہ درجہ حرارت (1000-1300 ℃) کے ماحول میں پولی کرسٹلائن سلیکون ویفرز یا مونو کرسٹلائن سلیکون ویفرز کے (ڈفیوژن) کوٹنگ عمل میں ویفرز کو اٹھانے اور منتقل کرنے کے لیے کیا جاتا ہے۔
تفصیلات
کے سی ای سی® ایس آئی ایس آئی سی/آر بی ایس آئی سی تکنیکی ڈیٹا شیٹ
تکنیکی پیرامیٹرز | یونٹ | قیمت |
سیلیکون کاربائیڈ کا مواد | % | 85 |
آزاد سلیکون کا مواد | % | 15 |
20°C پر بیچ فلکتی کثافت | g⁄cm³ | ≥3.02 |
کھلی سُرجھن | حجم فیصد | 0 |
سختی ایچ کے | کلوگرام/ملی میٹر² | 2600 |
Flexural Strength 20°C | ایم پی اے | 250 |
Flexural Strength 1200°C | ایم پی اے | 280 |
20 – 1000°C (Coefficient of Thermal Expansion) | 10–6 K–1 | 4.5 |
Thermal Conductivity 1000°C | واٹ/میٹر۔کیلفن | 45 |
سٹیٹک 20°C (کشیدگی کا ماڈولس) | GPa | 330 |
کام کرنے کا درجہ حرارت | °C | 1300 |
زیادہ سے زیادہ سروس درجہ حرارت (ہوا) | °C | 1380 |
استعمالات
ری ایکشن سینٹرڈ سلیکون کاربائیڈ کینٹی لیور پیڈلز/پروپیلرز سیمی کنڈکٹر ویفر لوڈنگ سسٹم کے اہم اجزاء ہیں۔
فوائد
سیلیکان کاربائیڈ کینٹی لیور پیڈلز/پروپیلرز کی مستحکم کارکردگی ہوتی ہے، جو درجہ حرارت کے ماحول میں تبدیلی نہیں آتی، بڑی ویفر لوڈنگ صلاحیت رکھتے ہیں، تیزی سے ٹھنڈا اور گرم ہونے کے لیے مزاحم ہوتے ہیں، حرارتی پھیلاؤ کا چھوٹا ماخذ رکھتے ہیں، اور لمبی عمر کے حامل ہوتے ہیں۔
زیادہ سے زیادہ کام کرنے کا درجہ حرارت 1380 ℃ تک پہنچ سکتا ہے؛ کم حرارتی پھیلاؤ؛ انتہائی مضبوط حرارتی شاک استحکام؛ کینٹی لیور پروپیلر اور LPCVD کوٹنگ کا حرارتی پھیلاؤ کا ماخذ ایک جیسا ہوتا ہے، اور LPCVD میں ان کے استعمال سے دیکھ بھال اور صفائی کے دورانیے کو کافی حد تک بڑھا دیا جاتا ہے اور آلودگی کو نمایاں طور پر کم کیا جاتا ہے۔