EN
Opis
KCE® reakcijsko spajani karbidi silicija nosilci/propelerji, izdelani s postopkom litja ali 3D tiskanja, nato reakcijsko spajani, obdelani s peskovnim brusenjem in precizno obdelani po zahtevah risbe, da izpolnijo uporabne zahteve. To so ključni sestavni deli sistemov za polaganje polprevodniških plošč, z glavnimi specifikacijami 2378 mm, 2550 mm, 2660 mm itd. Uporabljajo se v procesu (difuzije) prevleke polikristaliničnih ali monokristaliničnih silicijskih plošč v difuzijskih pečeh ter imajo pomembno vlogo pri prenašanju in transportu silicijskih plošč v visokotemperaturnih okoljih (1000–1300 °C).
Specificacije
KCE® SiSiC/RBSiC tehnični podatkovni list
| Tehnični parametri | Enota | Vrednost |
| Vsebina karbida silicija | % | 85 |
| Vsebina prostega silicija | % | 15 |
| Nasipna gostota pri 20 °C | g/cm³ | ≥3.02 |
| Odprta poroznost | Vol % | 0 |
| Trdota HK | kg/mm² | 2600 |
| Upogibna trdnost 20 °C | MPa | 250 |
| Upogibna trdnost 1200 °C | MPa | 280 |
| 20 – 1000 °C (koeficient toplotnega razširjanja) | 10–6 K–1 | 4.5 |
| Toplotna prevodnost 1000 °C | W/m·K | 45 |
| Statično 20°C (Modul elastičnosti) | GPa | 330 |
| Delovna temperatura | °C | 1300 |
| Najvišja delovna temp. (zrak) | °C | 1380 |
Uporaba
Reakcijsko spajani karbidi silicija nosilci/propelerji so ključni sestavni deli sistema za polaganje polprevodniških plošč.
Prednosti
Silicijevi karbidni konzolni krilni kolesa/propelerji imajo stabilne lastnosti, se ne deformirajo v visokotemperaturnih okoljih, imajo veliko nosilnost ploščic, so odporni na hitro hlajenje in segrevanje, imajo majhen koeficient toplotnega raztezanja in dolgo življenjsko dobo.
Najvišja delovna temperatura lahko znaša 1380 ℃; Nizko toplotno raztezanje; Izjemno močna stabilnost pri termičnem šoku; Koeficient toplotnega raztezanja konzolnega propelra in LPCVD prevleke je podoben, njuna uporaba v LPCVD pa znatno podaljša vzdrževalni in čistilni cikel ter bistveno zmanjša onesnaževala.
