EN
Apraksts
KCE® reakcijas ceļā sintēzēta silīcija karbīda konsoles lāpstiņas/skrūves, kuras izgatavotas liešanas vai 3D drukāšanas procesā, pēc tam reakcijas ceļā sintēzētas, tālāk apstrādātas ar smilšstrūklas metodi un precīzi apstrādātas atbilstoši zīmējumu prasībām, lai atbilstu lietošanas prasībām. Tās ir galvenās sastāvdaļas pusvadītāju kristālplāksnīšu iekraušanas sistēmās ar galvenajiem izmēriem 2378 mm, 2550 mm, 2660 mm utt. Tās tiek izmantotas (difūzijas) pārklāšanas procesā polikristāliskām vai monokristāliskām silīcija kristālplāksnītēm difūzijas krāsnīs un pilda funkciju nesējiem un transportētājiem augstās temperatūras vidē (1000–1300 °C).
Specifikācijas
KCE® SiSiC/RBSiC tehniskā specifikācija
| Tehniski parametri | Drošības un drošības politika | Vērtību |
| Silīcija karbīda saturs | % | 85 |
| Brīvā silīcija saturs | % | 15 |
| Izkliedes blīvums 20°C | g/cm³ | ≥3.02 |
| Atvērta porozitāte | Tilpuma % | 0 |
| Cietība HK | kg/mm² | 2600 |
| Liekšanas izturība 20°C | MPa | 250 |
| Liekšanas izturība 1200°C | MPa | 280 |
| 20 – 1000°C (Termiskās izplešanās koeficients) | 10–6 K–1 | 4.5 |
| Termiskā vadītspēja 1000°C | W/m.k | 45 |
| Statiska 20°C (Elastiskuma modulis) | Gpa | 330 |
| Darba temperatūra | °C | 1300 |
| Maks. darba temperatūra (gaisā) | °C | 1380 |
Lietojumi
Reakcijas ceļā sintēzēta silīcija karbīda konsoles lāpstiņas/skrūves ir galvenās sastāvdaļas pusvadītāju kristālplāksnīšu iekraušanas sistēmā.
Priekšrocības
Silīcija karbīda konsoles lāpstiņas/skrūves nodrošina stabilu darbību, neizkropļojas augstās temperatūras vidē, iztur lielu plāksnīšu slodzi, ir izturīgas pret strauju atdzesēšanu un sildīšanu, kam raksturīgs mazs termiskās izplešanās koeficients un ilgs kalpošanas laiks.
Maksimālā ekspluatācijas temperatūra var sasniegt 1380 ℃; Zema termiskā izplešanās; ļoti liela termiskās triecienizturības stabilitāte; Konsoles propelleram un LPCVD pārklājumam ir līdzīgs termiskās izplešanās koeficients, un to lietošana LPCVD ievērojami pagarina uzturēšanas un tīrīšanas ciklu, kā arī būtiski samazina piesārņotājus.
