EN
תֵאוּר
מַחֲבָטִים/פרופלרים קָנְטילִיבֶר מקרבייד סיליקון שטופס בתגובה, שנוצרו בתהליך ייצוק או דפוס תלת-מימדי, שטופסו בתגובה, ואז טופלו בעפרור ובעיבוד מדויק לפי דרישות התרשים כדי לעמוד בדרישות השימוש. הם רכיבים מרכזיים במערכות טעינת וויפר לסמינקונדקטור, עם מפרט עיקרי של 2378 מ"מ, 2550 מ"מ, 2660 מ"מ וכן הלאה. משמש בתהליך (דיפוזיה) שיזוף של וויפרים פוליקריסטליים או מונוקריסטליים בתנורי דיפוזיה, ובכך ממלא תפקיד בהובלה ונשיאה של וויפרים מסיליקון בסביבות חום גבוה (1000–1300 מעלות צלזיוס).
תכונות
דוח טכני של KCE® SiSiC/RBSiC
| פרמטרים טכניים | יחידה | ערך |
| תכולת סיליקון קרביד | % | 85 |
| תכולת סיליקון חופשי | % | 15 |
| צפיפות נפחית 20°C | g/cm³ | ≥3.02 |
| ספיגות פתוחה | נפח % | 0 |
| קשיות HK | גרם/מ"מ² | 2600 |
| прочות כפיפה 20 מעלות צלזיוס | מגה פסקל | 250 |
| Прочות כפיפה 1200 מעלות צלזיוס | מגה פסקל | 280 |
| 20 – 1000 מעלות צלזיוס (מקדם ההתפשטות התרמית) | 10–6 K–1 | 4.5 |
| מוליכות תרמית 1000 מעלות צלזיוס | W/מ"ק | 45 |
| סטטי 20°C (מודולוס האלסטיות) | GPa | 330 |
| טמפרטורת עבודה | °C | 1300 |
| טמפרטורת עבודה מקסימלית (אוויר) | °C | 1380 |
יישומים
מַחֲבָטִים/פרופלרים קָנְטילִיבֶר מקרבייד סיליקון שטופסו בתגובה הם רכיבים מרכזיים במערכת טעינת וויפר לסמינקונדקטור.
יתרונות
להטחנות/פרופלרים מקרبيد סיליקון יש ביצועים יציבים, הן אינן מתעוותות בסביבות בטמפרטורה גבוהה, בעלות על קיבולת טעינה גדולה של וויפר, עמידות בפני קירור וחימום מהירים, עם מקדם נמוך של התפשטות תרמית, ובעלות על חיים ארוכים.
הטמפרטורה המаксימלית להפעלה יכולה להגיע ל-1380 ℃; התפשטות תרמית נמוכה; יציבות גבוהה במיוחד בפני הלם תרמי; מקדם ההתפשטות התרמית של הפרופלר הקונסולי והציפוי LPCVD דומה, והשימוש בהן ב-LPCVD מאריך בצורה משמעותית את מחזור התפעול, התחזוקה והניקיון, ומפחית באופן משמעותי את הזיהום.
