EN
Opis
KCE® reakcijski spajkani silicijevi karbid konzolni remenici/vretena, oblikovani lijepljenjem ili postupkom 3D tiskanja, reakcijski spajkani, a zatim pjeskostrelom obrađeni i precizijski obradivani prema zahtjevima crteža kako bi zadovoljili zahtjeve za uporabu. Oni su ključni dijelovi sustava za učitavanje polova za poluvodiče, s glavnim specifikacijama od 2378 mm, 2550 mm, 2660 mm itd. Koristi se u (difuzijskom) procesu prevlačenja polikristalnih ili monokristalnih silicijskih pločica u difuzijskim pećima te ima ulogu nošenja i transporta silicijskih pločica u visokotemperaturnim okruženjima (1000-1300 ℃).
Specifikacije
KCE® SiSiC/RBSiC Tehnički podatkovni list
| Tehnički parametri | Jedinica | Vrijednost |
| Sadržaj silicijevog karbida | % | 85 |
| Sadržaj slobodnog silicija | % | 15 |
| Volumna gustoća kod 20°C | g/cm³ | ≥3.02 |
| Otvorena poroznost | Vol % | 0 |
| Tvrdoća HK | kg/mm² | 2600 |
| Čvrstoća na savijanje 20°C | MPa | 250 |
| Čvrstoća na savijanje 1200°C | MPa | 280 |
| 20 – 1000°C (koeficijent termičkog širenja) | 10–6 K–1 | 4.5 |
| Toplinska vodljivost 1000°C | W/m.K | 45 |
| Statički 20°C (modul elastičnosti) | GPa | 330 |
| Radna temperatura | °C | 1300 |
| Maks. radna temp. (zrak) | °C | 1380 |
Primjene
Reakcijski spajkani silicijevi karbid konzolni remenici/vretena su ključni dijelovi sustava za učitavanje polova za poluvodiče.
Prednosti
Silicon karbid konzolni krakovi/propeleri imaju stabilne performanse, ne deformiraju se na visokim temperaturama, imaju veliku nosivost za pločice, otporni su na brzo hlađenje i zagrijavanje, imaju mali koeficijent toplinskog širenja te dug vijek trajanja.
Maksimalna radna temperatura može doseći 1380 ℃; Nisko toplinsko širenje; Izuzetno jaka stabilnost na toplinske udare; Koeficijent toplinskog širenja konzolnog propelera i LPCVD prevlake je sličan, a njihova primjena u LPCVD značajno produžava ciklus održavanja i čišćenja te znatno smanjuje onečišćujuće tvari.
