EN
Kuvaus
KCE® Reaction -sinteröityjen piikarbidin konsolipyörät / potkurit, jotka on muodostettu valamalla tai 3D-tulostamalla, sinteröity reaktiomenetelmällä, ja sen jälkeen sorvattu ja tarkkuusjouhettu piirustusten mukaisesti vastaamaan käyttövaatimuksia. Ne ovat keskeisiä komponentteja puolijohdelevyjen latausjärjestelmissä, ja niiden päämitat ovat 2378 mm, 2550 mm, 2660 mm jne. Niitä käytetään (diffuusio)pinnoitusprosessissa monokiteisissä tai monikiteisissä piilevyissä diffuusiouuneissa, ja niillä on tehtävä kuljettaa ja siirtää piilevyjä korkean lämpötilan ympäristössä (1000–1300 ℃).
Mitat
KCE® SiSiC/RBSiC -tekninen tietolehti
| Tekniset parametrit | Yksikkö | Arvo |
| Rikkihiilen osuus | % | 85 |
| Vapaan piin osuus | % | 15 |
| Tiheys 20 °C:ssa | g/cm³ | ≥3.02 |
| Avoin huokosuus | Vol % | 0 |
| Kovuus HK | kg/mm² | 2600 |
| Taivutuslujuus 20°C | MPa | 250 |
| Taivutuslujuus 1200°C | MPa | 280 |
| 20 – 1000°C (Lämpölaajenemiskerroin) | 10–6 K–1 | 4.5 |
| Lämmönjohtavuus 1000°C | W/m.k | 45 |
| Staattinen 20°C (kimmoisuusmoduuli) | GPa | 330 |
| Toimintalämpötila | °C | 1300 |
| Maks. käyttölämpötila (ilma) | °C | 1380 |
Sovellukset
Reaktiosinteroituja kovia hiilipii-urakoita/potkureita ovat keskeisiä komponentteja puolijohdelevyjen latausjärjestelmässä.
Edut
Piikarbidipäätyni varustetut lapaset/potkurit tarjoavat vakaita suorituskykyominaisuuksia, eivät muodollistu korkeissa lämpötiloissa, kestävät suuren levykuorman, ovat kestäviä nopeille jäähdytyksille ja kuumentumiselle, niillä on pieni lämpölaajenemiskerroin ja pitkä käyttöikä.
Maksimikäyttölämpötila voi saavuttaa 1380 ℃; Alhainen lämpölaajeneminen; Erittäin vahva lämpöshokinkestävyys; Päätyni potkurin ja LPCVD-pinnoituksen lämpölaajenemiskertoimet ovat samankaltaiset, ja niiden käyttö LPCVD:ssä pidentää huoltovälejä ja puhdistusjaksoja merkittävästi sekä vähentää saasteita huomattavasti.
