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विवरण
KCE® रिएक्शन सिंटर्ड सिलिकॉन कार्बाइड कैंटिलीवर पैडल/प्रोपेलर, जिन्हें ढलाई या 3D प्रिंटिंग प्रक्रिया द्वारा निर्मित किया गया है, फिर रिएक्शन सिंटरिंग के बाद ड्राइंग आवश्यकताओं के अनुसार सैंडब्लास्ट और परिशुद्ध मशीनिंग की गई है ताकि उपयोग की आवश्यकताओं को पूरा किया जा सके। ये अर्धचालक वेफर लोडिंग सिस्टम के मुख्य घटक हैं, जिनकी मुख्य विशिष्टताएँ 2378 मिमी, 2550 मिमी, 2660 मिमी, आदि हैं। इनका उपयोग डिफ्यूजन भट्ठियों में बहुक्रिस्टलीय सिलिकॉन वेफर या एकल क्रिस्टलीय सिलिकॉन वेफर की (डिफ्यूजन) कोटिंग प्रक्रिया में उच्च तापमान वातावरण (1000-1300 ℃) में सिलिकॉन वेफर के वहन और परिवहन के लिए किया जाता है।
विशिष्टताएँ
केसीई® एसआईएसआईसी/आरबीएसआईसी तकनीकी डेटा शीट
| तकनीकी मापदंड | इकाई | मूल्य |
| सिलिकॉन कार्बाइड सामग्री | % | 85 |
| मुक्त सिलिकॉन सामग्री | % | 15 |
| 20 डिग्री सेल्सियस पर बल्क घनत्व | g/cm³ | ≥3.02 |
| खुली छिद्रता | आयतन % | 0 |
| कठोरता HK | किग्रा/वर्ग मिमी | 2600 |
| बंकन शक्ति 20°सेल्सियस | एमपीए | 250 |
| बंकन शक्ति 1200°सेल्सियस | एमपीए | 280 |
| 20 – 1000°सेल्सियस (ऊष्मीय प्रसार का गुणांक) | 10–6 K–1 | 4.5 |
| ऊष्मीय चालकता 1000°सेल्सियस | वाट/मी.केल्विन | 45 |
| स्थिर 20°C (लोच का प्रत्यास्थता मापांक) | जीपीए | 330 |
| कार्यशील तापमान | °C | 1300 |
| अधिकतम उपयोग तापमान (हवा में) | °C | 1380 |
अनुप्रयोग
रिएक्शन सिंटर्ड सिलिकॉन कार्बाइड कैंटिलीवर पैडल/प्रोपेलर अर्धचालक वेफर लोडिंग सिस्टम के मुख्य घटक हैं।
लाभ
सिलिकॉन कार्बाइड कैंटिलीवर पैडल/प्रोपेलर में स्थिर प्रदर्शन होता है, उच्च तापमान वाले वातावरण में विरूपित नहीं होते हैं, इनमें वेफर लोडिंग क्षमता अधिक होती है, तीव्र शीतलन और तापन के प्रति प्रतिरोधी होते हैं, तापीय प्रसार का गुणांक कम होता है और इनका सेवा जीवन लंबा होता है।
अधिकतम संचालन तापमान 1380 ℃ तक पहुँच सकता है; कम तापीय प्रसार; अत्यधिक मजबूत तापीय आघात स्थिरता; कैंटिलीवर प्रोपेलर और LPCVD लेप के तापीय प्रसार गुणांक समान होते हैं, और LPCVD में उनके उपयोग से रखरखाव और सफाई चक्र काफी बढ़ जाता है तथा प्रदूषकों में काफी कमी आती है।
